vet-china નવીન વર્ટિકલ કોલમ વેફર બોટ એન્ડ પેડેસ્ટલ રજૂ કરે છે, જે અદ્યતન સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ માટે એક વ્યાપક ઉકેલ છે. ઝીણવટભરી ચોકસાઇ સાથે ડિઝાઇન કરાયેલ, આ વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ અજોડ સ્થિરતા અને સંરેખણ પ્રદાન કરે છે, જે ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતા ઉત્પાદન વાતાવરણ માટે નિર્ણાયક છે.
વર્ટિકલ કોલમ વેફર બોટ એન્ડ પેડેસ્ટલનું નિર્માણ પ્રીમિયમ સામગ્રી સાથે કરવામાં આવ્યું છે જે થર્મલ સ્થિરતા અને રાસાયણિક કાટ સામે પ્રતિકારની ખાતરી આપે છે, જે તેને સૌથી વધુ માંગવાળી સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયાઓ માટે યોગ્ય બનાવે છે. તેની અનન્ય ઊભી સ્તંભ ડિઝાઇન વેફર્સને સુરક્ષિત રીતે સપોર્ટ કરે છે, પરિવહન અને પ્રક્રિયા દરમિયાન ખોટી ગોઠવણી અને સંભવિત નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે.
વેટ-ચીનના વર્ટિકલ કોલમ વેફર બોટ અને પેડેસ્ટલના એકીકરણ સાથે, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદકો સુધારેલ થ્રુપુટ, ન્યૂનતમ ડાઉનટાઇમ અને ઉત્પાદન ઉપજમાં વધારોની અપેક્ષા રાખી શકે છે. આ સિસ્ટમ વિવિધ વેફર કદ અને રૂપરેખાંકનો સાથે સુસંગત છે, વિવિધ ઉત્પાદન જરૂરિયાતો માટે સુગમતા અને માપનીયતા પ્રદાન કરે છે.
શ્રેષ્ઠતા માટે વેટ-ચીનની પ્રતિબદ્ધતા એ સુનિશ્ચિત કરે છે કે દરેક વર્ટિકલ કોલમ વેફર બોટ અને પેડેસ્ટલ ગુણવત્તા અને કામગીરીના ઉચ્ચતમ ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે. આ અદ્યતન સોલ્યુશન પસંદ કરીને, તમે વેફર હેન્ડલિંગ માટે ભાવિ-પ્રૂફ અભિગમમાં રોકાણ કરો છો જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં કાર્યક્ષમતા અને વિશ્વસનીયતાને મહત્તમ કરે છે.
પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડના ગુણધર્મો
રિક્રિસ્ટલાઇઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (R-SiC) એ હીરા પછી બીજા ક્રમે કઠિનતા સાથે ઉચ્ચ-પ્રદર્શન સામગ્રી છે, જે 2000℃ ઉપરના ઊંચા તાપમાને બને છે. તે SiC ના ઘણા ઉત્કૃષ્ટ ગુણધર્મોને જાળવી રાખે છે, જેમ કે ઉચ્ચ તાપમાન શક્તિ, મજબૂત કાટ પ્રતિકાર, ઉત્તમ ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર, સારો થર્મલ આંચકો પ્રતિકાર અને તેથી વધુ.
● ઉત્તમ યાંત્રિક ગુણધર્મો. પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડમાં કાર્બન ફાઇબર કરતાં વધુ તાકાત અને જડતા હોય છે, ઉચ્ચ અસર પ્રતિકાર હોય છે, આત્યંતિક તાપમાનના વાતાવરણમાં સારું પ્રદર્શન કરી શકે છે, વિવિધ પરિસ્થિતિઓમાં વધુ સારી પ્રતિસંતુલન પ્રદર્શન કરી શકે છે. વધુમાં, તે સારી લવચીકતા પણ ધરાવે છે અને તેને ખેંચવા અને વાળવાથી સરળતાથી નુકસાન થતું નથી, જે તેની કામગીરીમાં ઘણો સુધારો કરે છે.
● ઉચ્ચ કાટ પ્રતિકાર. પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડ વિવિધ માધ્યમો માટે ઉચ્ચ કાટ પ્રતિકાર ધરાવે છે, વિવિધ પ્રકારના કાટરોધક માધ્યમોના ધોવાણને અટકાવી શકે છે, તેના યાંત્રિક ગુણધર્મોને લાંબા સમય સુધી જાળવી શકે છે, મજબૂત સંલગ્નતા ધરાવે છે, જેથી તે લાંબી સેવા જીવન ધરાવે છે. વધુમાં, તે સારી થર્મલ સ્થિરતા પણ ધરાવે છે, તાપમાનના ફેરફારોની ચોક્કસ શ્રેણીને અનુકૂલન કરી શકે છે, તેની એપ્લિકેશન અસરને સુધારી શકે છે.
● સિન્ટરિંગ સંકોચતું નથી. કારણ કે સિન્ટરિંગ પ્રક્રિયા સંકોચતી નથી, કોઈપણ શેષ તણાવ ઉત્પાદનના વિરૂપતા અથવા ક્રેકીંગનું કારણ બનશે નહીં, અને જટિલ આકાર અને ઉચ્ચ ચોકસાઇવાળા ભાગો તૈયાર કરી શકાય છે.
| 重结晶碳化硅物理特性 રિક્રિસ્ટલાઇઝ્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| 性质 / મિલકત | 典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| 使用温度/ કાર્યકારી તાપમાન (°C) | 1600°C (ઓક્સિજન સાથે), 1700°C (વાતાવરણ ઘટાડવું) |
| SiC含量/ SiC સામગ્રી | > 99.96% |
| 自由Si含量/ મફત Si સામગ્રી | < 0.1% |
| 体积密度/બલ્ક ઘનતા | 2.60-2.70 ગ્રામ/સે.મી3 |
| 气孔率/ દેખીતી છિદ્રાળુતા | < 16% |
| 抗压强度/ કમ્પ્રેશન તાકાત | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/કોલ્ડ બેન્ડિંગ તાકાત | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ થર્મલ વિસ્તરણ @1500°C | 4.70 10-6/°સે |
| 导热系数/થર્મલ વાહકતા @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | 240 GPa |
| 抗热震性/ થર્મલ આંચકો પ્રતિકાર | અત્યંત સારું |
VET એનર્જી છે આCVD કોટિંગ સાથે કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેફાઇટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ઉત્પાદનોના વાસ્તવિક ઉત્પાદક,સપ્લાય કરી શકે છેવિવિધસેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ માટે કસ્ટમાઇઝ્ડ ભાગો. Oતમારી તકનીકી ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છેતમારા માટે.
અમે વધુ અદ્યતન સામગ્રી પ્રદાન કરવા માટે સતત અદ્યતન પ્રક્રિયાઓ વિકસાવીએ છીએ,અનેએક વિશિષ્ટ પેટન્ટ ટેક્નોલોજી પર કામ કર્યું છે, જે કોટિંગ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બોન્ડિંગને વધુ ચુસ્ત બનાવી શકે છે અને અલગ થવાની સંભાવના ઓછી છે.
| સીવીડી SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC ના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મોકોટિંગ | |
| 性质 / મિલકત | 典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| 晶体结构 / ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર | FCC β તબક્કો多晶, 主要为 (111）取向 |
| 密度 / ઘનતા | 3.21 ગ્રામ/સેમી³ |
| 硬度 / કઠિનતા | 2500 维氏硬度（500g લોડ） |
| 晶粒大小 / અનાજનું કદ | 2~10μm |
| 纯度 / રાસાયણિક શુદ્ધતા | 99.99995% |
| 热容 / ગરમીની ક્ષમતા | 640 J·kg-1· કે-1 |
| 升华温度 / સબલાઈમેશન તાપમાન | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | 415 MPa RT 4-પોઇન્ટ |
| 杨氏模量 / યંગનું મોડ્યુલસ | 430 Gpa 4pt બેન્ડ, 1300℃ |
| 导热系数 / થર્માlવાહકતા | 300W·m-1· કે-1 |
| 热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
અમારી ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે તમારું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!
