સૌર ફોટોવોલ્ટેઇક ઉત્પાદનો

શુદ્ધતા, SEM માળખું, જાડાઈનું વિશ્લેષણSiC કોટિંગ

CVD નો ઉપયોગ કરીને ગ્રેફાઇટ પર SiC કોટિંગ્સની શુદ્ધતા 99.9995% જેટલી ઊંચી છે. તેની રચના fcc છે. ગ્રેફાઇટ પર કોટેડ SiC ફિલ્મો XRD ડેટા (Fig.1) માં બતાવ્યા પ્રમાણે (111) લક્ષી છે જે તેની ઉચ્ચ સ્ફટિકીય ગુણવત્તા દર્શાવે છે. ફિગ. 2 માં બતાવ્યા પ્રમાણે SiC ફિલ્મની જાડાઈ ખૂબ સમાન છે.

ફિગ. 2: ગ્રેફાઇટ પર બીટા-SiC ફિલ્મની SiC ફિલ્મો SEM અને XRDની જાડાઈનો ગણવેશ

CVD SiC પાતળી ફિલ્મનો SEM ડેટા, ક્રિસ્ટલનું કદ 2~1 Opm છે

CVD SiC ફિલ્મનું ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર ફેસ-કેન્દ્રિત ક્યુબિક સ્ટ્રક્ચર છે, અને ફિલ્મ ગ્રોથ ઓરિએન્ટેશન 100% ની નજીક છે.

સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) કોટેડબેઝ એ સિંગલ ક્રિસ્ટલ સિલિકોન અને GaN એપિટાક્સી માટે શ્રેષ્ઠ આધાર છે, જે એપિટાક્સી ફર્નેસનો મુખ્ય ઘટક છે. મોટા ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ માટે મોનોક્રિસ્ટલાઇન સિલિકોન માટે આધાર એ મુખ્ય ઉત્પાદન સહાયક છે. તે ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, સારી હવા ચુસ્તતા અને અન્ય ઉત્તમ સામગ્રી લાક્ષણિકતાઓ ધરાવે છે.

ઉત્પાદન એપ્લિકેશન અને ઉપયોગ

સિંગલ ક્રિસ્ટલ સિલિકોન એપિટેક્સિયલ ગ્રોથ માટે ગ્રેફાઇટ બેઝ કોટિંગ એઇક્સ્ટ્રોન મશીનો વગેરે માટે યોગ્ય કોટિંગ જાડાઈ: 90~150um વેફર ક્રેટરનો વ્યાસ 55mm છે.