Soporte de obleas de grafito PECVD

Breve descrición:

Deseñado para a precisión e o rendemento, o soporte de obleas de grafito de VET Energy é o material ideal para o seu uso no procesamento avanzado de obleas, onde a alta estabilidade térmica e o rendemento consistente son fundamentais. Tanto se traballas con obleas de semicondutores como con outros substratos delicados, este soporte de grafito de alta calidade mellorará a fiabilidade do teu proceso e a calidade do produto, converténdoo nun compoñente indispensable para a fabricación moderna.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O soporte de obleas de grafito do proceso VET Energy PECVD é un consumible central deseñado para o proceso PECVD (deposición de vapor químico mellorado por plasma). Este produto está feito de material de grafito de alta pureza e alta densidade, cunha excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características, pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso PECVD, para garantir a uniformidade e a planitude da deposición da película.

O deseño de "soporte de grafito" do soporte de obleas de grafito VET Energy non só pode soportar eficazmente a oblea, senón que tamén proporciona estabilidade térmica no ambiente PECVD de alta temperatura e alta presión para garantir a estabilidade do proceso.

O soporte de obleas de grafito do proceso VET Energy PECVD ten as seguintes características:

▪Alta pureza:contido de impurezas moi baixo, evita a contaminación da película, para garantir a calidade da película.

▪Alta densidade:alta densidade, alta resistencia mecánica, pode soportar alta temperatura e alta presión ambiente PECVD.

▪Boa estabilidade dimensional:pequenos cambios dimensionales a alta temperatura para garantir a estabilidade do proceso.

▪Excelente condutividade térmica:transferir eficazmente a calor para evitar o sobreenriquecido da oblea.

▪Forte resistencia á corrosión:Capaz de resistir a erosión por diversos gases corrosivos e plasma.

▪Servizo personalizado:As táboas de soporte de grafito de diferentes tamaños e formas pódense personalizar segundo as necesidades do cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN 66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, soportando o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do transportista aumenta significativamente o rendemento, o que permite maiores taxas de rendemento e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Portador de obleas de número
Barco PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco grefito	216
	156-21 barco grefito	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefita 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280