Bandexa de carga PECVD Bandexa de grafito de deposición

Breve descrición:

A bandexa de carga PECVD de VET Energy está deseñada para proporcionar un soporte seguro e uniforme para as obleas durante a deposición, mellorando a consistencia e a calidade do proceso de deposición. Coa súa excelente resistencia á calor, a bandexa de grafito axuda a manter un ambiente controlado dentro das cámaras PECVD, reducindo o risco de contaminación e garantindo unha alta eficiencia do proceso.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

A bandexa de carga VET Energy PECVD é un soporte de precisión deseñado para o proceso PECVD (deposición de vapor químico mellorada por plasma). Esta bandexa de grafito de deposición de alta calidade está feita de material de grafito de alta pureza e alta densidade. Ten unha excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características. Pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso PECVD e garantir a uniformidade e a planitude da deposición da película.

As bandexas de carga VET Energy PECVD úsanse amplamente en semicondutores, fotovoltaicos, LED e outros campos. Por exemplo:

▪ Semicondutor: proceso PECVD para materiais semicondutores como obleas de silicio e obleas epitaxiais.

▪ Fotovoltaico: proceso PECVD para películas finas de células solares.

▪ LED: proceso PECVD para chips LED.

Vantaxes do produto

▪Mellora a calidade da película:Garantir a deposición uniforme da película e mellorar a calidade da película.

▪Estender a vida útil do equipo:Excelente resistencia á corrosión, prolonga a vida útil dos equipos PECVD.

▪Reducir os custos de produción:As bandexas de grafito de alta calidade poden reducir a taxa de chatarra e reducir os custos de produción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN 66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, soportando o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do transportista aumenta significativamente o rendemento, o que permite maiores taxas de rendemento e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Portador de obleas de número
Barco PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco grefito	216
	156-21 barco grefito	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefita 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280