Barco de obleas de grafito para deposición

Breve descrición:

O barco de obleas de grafito VET Energy é un consumible de alta calidade adaptado para procesos de deposición en industrias de semicondutores, fotovoltaica e outras. Feito de material de grafito de alta pureza e alta densidade, este produto ten unha excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características, e pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso de deposición para garantir a uniformidade e a planitude da deposición de película fina. .

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O barco de grafito PECVD de VET Energy está fabricado con grafito isostático de alta pureza, cunha porosidade inferior ao 15% e unha rugosidade superficial Ra≤1,6μm. A estabilidade dimensional superior e a condutividade térmica garanten unha deposición uniforme da película e unha maior eficiencia celular.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN 66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, soportando o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do transportista aumenta significativamente o rendemento, o que permite maiores taxas de rendemento e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Portador de obleas de número
Barco PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco grefito	216
	156-21 barco grefito	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefita 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280