Chan eil loidhne toraidh VET Energy cuingealaichte ri GaN air wafers SiC. Bidh sinn cuideachd a 'toirt seachad raon farsaing de stuthan substrate semiconductor, a' gabhail a-steach Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, msaa. Wafer, gus coinneachadh ri iarrtas gnìomhachas dealanach cumhachd san àm ri teachd airson innealan coileanaidh nas àirde.
Bidh VET Energy a’ toirt seachad seirbheisean gnàthachaidh sùbailte, agus is urrainn dhaibh sreathan epitaxial GaN de dhiofar thiugh, diofar sheòrsaichean dopaidh, agus diofar mheudan wafer a ghnàthachadh a rèir feumalachdan sònraichte luchd-ceannach. A bharrachd air an sin, bidh sinn cuideachd a ’toirt seachad taic theicnigeach proifeasanta agus seirbheis às-reic gus luchd-ceannach a chuideachadh gu luath a’ leasachadh innealan dealanach cumhachd àrd-choileanaidh.
Sònrachaidhean WAFERING
* n-Pm = n-seòrsa Pm-Ìre, n-Ps = n-seòrsa Ps-Ìre, Sl = Semi-lnsulating
Nì | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TBh (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow (GF3YFCD) - Luach iomlan | ≤15m | ≤15m | ≤25m | ≤15m | |
Warp(GF3YFER) | ≤25m | ≤25m | ≤40m | ≤25m | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2 m | ||||
Iomall Wafer | Beveling |
CRIOSDUIDH SEACHD
* n-Pm = n-seòrsa Pm-Ìre, n-Ps = n-seòrsa Ps-Ìre, Sl = Semi-lnsulating
Nì | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Crìoch air uachdar | Taobh dùbailte Pòlach Optigeach, Si- Face CMP | ||||
Garbhachd uachdar | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Chan eil gin ceadaichte (fad is leud≥0.5mm) | ||||
Indents | Chan eil gin ceadaichte | ||||
Scratches (Si-Face) | Qty.≤5, tionalach | Qty.≤5, tionalach | Qty.≤5, tionalach | ||
Sgàinidhean | Chan eil gin ceadaichte | ||||
Exclusion Edge | 3mm |