Mar a ghlanas tu bàta grafait PECVD？| Lùth VET

1. Aithneachadh mus glanadh

1) Nuair a bhios anBàta grafait PECVD/ giùlan air a chleachdadh barrachd air 100 gu 150 uair, feumaidh an gnìomhaiche sgrùdadh a dhèanamh air suidheachadh a ’chòmhdaich ann an ùine. Ma tha còmhdach neo-àbhaisteach ann, feumar a ghlanadh agus a dhearbhadh. Tha dath còmhdach àbhaisteach an wafer silicon anns a’ bhàta grafait / neach-giùlain gorm. Ma tha dath neo-ghorm, ioma-dath air an wafer, no ma tha an eadar-dhealachadh dath eadar na wafers mòr, is e còmhdach neo-àbhaisteach a th’ ann, agus feumar adhbhar an ana-cainnt a dhearbhadh ann an ùine.
2) Às deidh a’ phròiseas bidh luchd-obrach a ’dèanamh sgrùdadh air suidheachadh còmhdach anBàta grafait PECVD/ neach-giùlain, co-dhùinidh iad am feumar am bàta grafait a ghlanadh agus am feumar puing na cairt a chuir na àite, agus thèid am bàta / giùlan grafait a dh’ fheumar a ghlanadh a thoirt do luchd-obrach an uidheamachd airson a ghlanadh.

 

3) Às deidh anbàta grafait/ tha an neach-giùlain air a mhilleadh, bheir an luchd-obrach a-mach na wafers silicon gu lèir anns a’ bhàta grafait agus cleachdaidh iad CDA (èadhar teannachaidh) gus na pìosan anns anbàta grafait. Às deidh a chrìochnachadh, togaidh luchd-obrach an uidheamachd a-steach don tanca searbhagach a chaidh ullachadh le cuibhreann sònraichte de fhuasgladh HF airson glanadh.

 

2. Glanadh bàta grafait

Thathas a ’moladh fuasgladh searbhag hydrofluoric 15-25% a chleachdadh airson trì cuairtean glanaidh, gach fear airson 4-5 uairean, agus bho àm gu àm a’ brùthadh nitrigin tron ​​​​phròiseas bogaidh is glanaidh, a ’cur timcheall air leth uair a thìde de ghlanadh; nota: chan eilear a’ moladh èadhar a chleachdadh gu dìreach mar stòr gas airson bubbling. An dèidh picilte, losgadh le uisge fìor-ghlan airson timcheall air 10 uairean, agus dearbhaich gu bheil am bàta air a ghlanadh gu mionaideach. Às deidh glanadh, feuch an toir thu sùil air uachdar a ’bhàta, puing a’ chairt grafait agus an duilleag bàta còmhla, agus pàirtean eile gus faicinn a bheil fuigheall nitride silicon ann. An uairsin tiormaich a rèir nan riatanasan.

3. Glanadh ro-chùram

A) Leis gur e stuth fìor chreimneach a th’ ann an searbhag HF agus gu bheil sùbailteachd sònraichte aige, tha e cunnartach do ghnìomhaichean. Mar sin, feumaidh luchd-obrachaidh aig an ionad glanaidh ceumannan sàbhailteachd a ghabhail agus a bhith air an riaghladh le neach sònraichte.

B) Thathas a’ moladh am bàta a chuir às a chèile agus dìreach am pàirt grafait a ghlanadh rè glanadh, gus an tèid gach pàirt conaltraidh a ghlanadh nas mionaidiche. Aig an àm seo, bidh mòran de luchd-saothrachaidh dachaigheil a’ cleachdadh glanadh iomlan, a tha goireasach, ach leis gu bheil searbhag HF creimneach gu pàirtean ceirmeag, giorraichidh glanadh iomlan beatha seirbheis nam pàirtean co-fhreagarrach.