SiC Coated Barrel Susceptor

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor is in produkt mei hege prestaasjes ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.

Plak fan oarsprong:Sina

Kristal struktuer:FCCβ faze

Density:3,21 g/cm;

Hardheid:2500 Vickers;

Korrelgrutte:2~10μm;

Gemyske suverens:99.99995%;

Heat Kapasiteit:640J·kg-1·K-1;

Sublimaasjetemperatuer:2700 ℃;

Felexural Strength:415 Mpa (RT 4-Punkt);

Young's Modulus:430 Gpa (4pt bocht, 1300 ℃);

Termyske útwreiding (CTE):4,5 10-6K-1;

Thermyske konduktiviteit:300 (W/MK);

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

Barrel susceptor is a kaaikomponint brûkt yn ferskate semiconductor manufacturing prosessen.Wy brûke ús patintearre technology te meitsjen debarrel susceptormeiekstreem hege suverens,goedcoatinguniformiteiten in poerbêste servicelibben, lykashege gemyske ferset en termyske stabiliteit eigenskippen.

VET Energy is deechte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei CVD-coating,leverje kinneferskateoanpaste dielen foar semiconductor en fotovoltaïsche yndustry. Our technyske team komt út top ynlânske ûndersyk ynstellings, kin foarsjen mear profesjonele materiaal oplossingsfoar dy.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen,enhawwe útwurke in eksklusive patintearre technology, dy't kin meitsje de bonding tusken de coating en it substraat strakkere en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Feigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700℃.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating
性质 / Eigenskip	典型数值 / Typyske Wearde
晶体结构 / Crystal Struktuer	FCC β faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Tichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Grain Grutte	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99,99995%
热容 / Heat Kapasiteit	640 j kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Jongens Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1