Wat is de funksje fan PECVD grafytboat?

As de drager fan normale silisium wafels yn 'e produksje fan coating proses, degrafyt boathat in protte boat wafels mei in bepaalde ynterval yn 'e struktuer, en der is in hiel smelle romte tusken twa neistlizzende boat wafers, en silisium wafels wurde pleatst oan beide kanten fan 'e lege doar.

Om't grafyt, it materiaal fan 'e grafytboat, in goede conductivity en termyske conductivity hat, wurdt in AC-spanning tapast tusken twa neistlizzende boaten om positive en negative elektroden te foarmjen. As d'r in bepaalde luchtdruk en gas yn 'e keamer is, ûntstiet in gloeiûntlading tusken de beide boaten. De glânsûntlading kin SiH4- en NH3-gas yn 'e romte ûntbrekke, Si- en N-ionen foarmje, en kombinearje om SiNx-molekulen te foarmjen. It wurdt dellein op it oerflak fan silisiumwafel om it doel fan coating te berikken.

As drager fan sinne sel antireflection coating, de struktuer en grutte fan grafyt boat direkt ynfloed op de konverzje effisjinsje en produksje effisjinsje fan silisium wafer. Nei jierren fan technysk ûndersyk en ûntwikkeling, ús bedriuw no hat avansearre produksje apparatuer, folwoeksen technology ûntwerpers en betûfte produksje personiel, en de materialen binne ymportearre grûnstoffen. Op it stuit hat de grafytboat makke troch ús bedriuw de foardielen fan hege effisjinsje. de sinne-enerzjy-konverzje-effisjinsje heech. Shijin bedriuw hat alle soarten inket boaten dy't de merk no nedich

21


Post tiid: Apr-08-2021
WhatsApp Online Chat!