UV Processing foar Fan-Out Wafer-Level Packaging

Fan-out wafer-nivo-ferpakking (FOWLP) is in kosten-effektive metoade yn 'e semiconductorsektor. Mar de typyske kant effekten fan dit proses binne warping en chip offset. Nettsjinsteande de trochgeande ferbettering fan wafernivo en panielnivo fan út technology, besteane dizze problemen yn ferbân mei foarmjen noch.

Warping wurdt feroarsake troch gemyske krimp fan floeibere kompresje moulding compound (LCM) by curing en koeling nei moulding. De twadde reden foar warping is de mismatch yn koëffisjint fan termyske útwreiding (CTE) tusken de silisium chip, moulding materiaal, en substraat. Offset is te tankjen oan it feit dat taaie moulding materialen mei hege filler ynhâld kinne meastal allinnich brûkt wurde ûnder hege temperatuer en hege druk. As de chip wurdt fêstmakke oan de drager troch tydlike bonding, tanimmende temperatuer sil verzachten de adhesive, dêrmei ferswakke syn adhesive sterkte en it ferminderjen fan syn fermogen om te reparearjen de chip. De twadde reden foar de offset is dat de druk dy't nedich is foar moulding soarget foar stress op elke chip.

Om oplossingen te finen foar dizze útdagings, hat DELO in helberheidsstúdzje útfierd troch in ienfâldige analoge chip oan in drager te ferbinen. Wat de opset oanbelanget, wurdt de dragerwafel bedekt mei tydlike adhesive, en de chip wurdt mei it gesicht nei ûnderen pleatst. Dêrnei waard de wafel getten mei DELO-kleefstof mei lege viskositeit en genêzen mei ultraviolette strieling foardat de dragerwafel fuorthelle waard. Yn soksoarte tapassingen wurde typysk thermoset-foarmkompositen mei hege viskositeit brûkt.

640

DELO fergelike ek de warpage fan thermosetting moulding materialen en UV cured produkten yn it eksperimint, en de resultaten lieten sjen dat typyske moulding materialen soe warp yn de cooling perioade nei thermosetting. Dêrom, mei help fan keamertemperatuer ultraviolet curing ynstee fan ferwaarming curing kin gâns ferminderje de ynfloed fan termyske útwreiding koeffisient mismatch tusken de moulding gearstalling en de drager, dêrmei minimalisearje warping sa grut mooglik.

It brûken fan ultraviolet curing materialen kin ek ferminderjen it brûken fan fillers, dêrmei ferminderjen viscosity en Young syn modulus. De viskositeit fan 'e modelkleefstof brûkt yn' e test is 35000 mPa · s, en de Young's modulus is 1 GPa. Troch it ûntbrekken fan ferwaarming of hege druk op it moulding materiaal, kin chip offset sa min mooglik minimalisearre wurde. In typyske moulding compound hat in viscosity fan likernôch 800000 mPa · s en in Young syn modulus yn it berik fan twa sifers.

Oer it algemien hat ûndersyk sjen litten dat it brûken fan UV-geharde materialen foar foarmjen fan grut gebiet foardielich is foar it produsearjen fan chipleader fan wafer-nivo-ferpakking, wylst de warpage en chip-offset sa min mooglik minimalisearret. Nettsjinsteande signifikante ferskillen yn termyske útwreidingskoëffisjinten tusken de brûkte materialen, hat dit proses noch meardere tapassingen fanwegen it ûntbrekken fan temperatuerfariaasje. Derneist kin UV-hurding ek de hurdenstiid en enerzjyferbrûk ferminderje.

640

UV ynstee fan termyske curing fermindert warpage en die shift yn fan-out wafer-nivo ferpakking

Fergeliking fan 12-inch coated wafers mei in thermysk genêzende ferbining mei hege filler (A) en in UV-geharde ferbining (B)


Post tiid: Nov-05-2024
WhatsApp Online Chat!