Lykas hjirboppe toand, is in typysk
De earste helte:
Heating Element (heating coil): leit om 'e ovenbuis, meastentiids makke fan wjerstânsdraden, brûkt om de binnenkant fan' e ovenbuis te ferwaarmjen.
Quartz Tube: De kearn fan in hjitte oksidaasjeofen, makke fan kwarts mei hege suverens dy't hege temperatueren ferneare kin en chemysk inert bliuwt.
Gasfeed: Leit oan 'e boppeste of kant fan' e ovenbuis, wurdt it brûkt om soerstof of oare gassen nei it binnen fan 'e ovenbuis te ferfieren.
SS Flange: komponinten dy't kwartsbuizen en gaslinen ferbine, soargje foar de dichtheid en stabiliteit fan 'e ferbining.
Gasfeedlinen: Pipen dy't de MFC ferbine mei de gasfoarsjenningspoarte foar gasoerdracht.
MFC (Mass Flow Controller): In apparaat dat de stream fan gas yn in kwartsbuis kontroleart om de hoemannichte gas nedich te regeljen.
Vent: Wurdt brûkt om it útlaatgas fan binnen de ovenbuis nei de bûtenkant fan 'e apparatuer te ventilearjen.
Leechste part
Silicon wafers yn Holder: Silicon wafers wurde ûnderbrocht yn in spesjale Holder om te garandearjen unifoarme waarmte by oksidaasje.
Wafer Holder: Wurdt brûkt om de silisium wafel te hâlden en te soargjen dat de silisium wafel stabyl bliuwt tidens it proses.
Pedestal: In struktuer dy't hâldt in silisium wafer Holder, meastal makke fan in hege temperatuer resistant materiaal.
Lift: Wurdt brûkt om waferhâlders yn en út kwartsbuizen op te heffen foar automatysk laden en lossen fan silisiumwafels.
Wafer Transfer Robot: leit oan 'e kant fan' e ovenbuisapparaat, wurdt it brûkt om de silisiumwafel automatysk út 'e doaze te ferwiderjen en yn' e ovenbuis te pleatsen, of nei ferwurking te ferwiderjen.
Cassette Storage Carousel: Cassette Storage Carousel wurdt brûkt foar it bewarjen fan in doaze mei silisium wafels en kin wurde rotearre foar robot tagong.
Wafelkassette: waferkassette wurdt brûkt om de te ferwurkjen silisiumwafels op te slaan en oer te bringen.
Post tiid: Apr-22-2024