Lykas hjirboppe toand, is in typysk
De earste helte:
▪ Heating elemint (ferwaarming coil):
leit om 'e furnace tube, meastal makke fan ferset triedden, brûkt om ferwaarming de binnenkant fan' e furnace tube.
▪ Quartz Tube:
De kearn fan in waarme oksidaasjeofen, makke fan kwarts mei hege suverens dy't hege temperatueren ferneare kin en chemysk inert bliuwt.
▪ Gasfeed:
Leit oan 'e boppeste of kant fan' e ovenbuis, wurdt it brûkt om soerstof of oare gassen nei it binnen fan 'e ovenbuis te ferfieren.
▪ SS-flens:
komponinten dy't ferbine kwarts buizen en gas linen, garandearje de tightness en stabiliteit fan de ferbining.
▪ Gasfeedlinen:
Pipes dy't ferbine de MFC oan de gas oanbod haven foar gas oerdracht.
▪ MFC (Mass Flow Controller):
In apparaat dat de trochstreaming fan gas yn in kwartsbuis kontroleart om krekt de hoemannichte gas nedich te regeljen.
▪ Ventilaasje:
Wurdt brûkt om it útlaatgas fan binnen de ovenbuis nei de bûtenkant fan 'e apparatuer te ventilearjen.
Underste diel:
▪ Silicon wafers yn holder:
Silisiumwafels wurde ûnderbrocht yn in spesjale Holder om unifoarme waarmte te garandearjen by oksidaasje.
▪ Wafelhâlder:
Wurdt brûkt om de silisiumwafel te hâlden en te soargjen dat de silisiumwafel stabyl bliuwt tidens it proses.
▪ Pedestal:
In struktuer dy't hâldt in silisium wafer Holder, meastal makke fan in hege temperatuer resistant materiaal.
▪ Lift:
Wurdt brûkt om waferhâlders yn en út kwartsbuizen op te heffen foar automatysk laden en lossen fan silisiumwafels.
▪ Wafer Transfer Robot:
leit oan 'e kant fan' e oven buis apparaat, it wurdt brûkt om automatysk fuortsmite de silisium wafel út 'e doaze en pleats it yn' e oven buis, of fuortsmite nei ferwurking.
▪ Kassette-opslachkarrousel:
Cassette opslach carousel wurdt brûkt om te bewarjen in doaze mei silisium wafers en kin wurde rotearre foar robot tagong.
▪ Wafer Cassette:
wafercassette wurdt brûkt om de te ferwurkjen silisiumwafels op te slaan en oer te bringen.
Post tiid: Apr-22-2024