De produksje fan halfgeleiderapparaten omfettet benammen diskrete apparaten, yntegreare sirkwy en har ferpakkingsprosessen.
Semiconductor produksje kin wurde ferdield yn trije stadia: produkt lichem materiaal produksje, produktwafelproduksje en apparaat gearkomste. Under harren is de meast serieuze fersmoarging it faze fan produktwaferproduksje.
Fersmoarging wurdt benammen ferdield yn ôffalwetter, ôffalgas en fêst ôffal.
Chipproduksjeproses:
Silicon wafernei eksterne slypjen - skjinmeitsjen - oksidaasje - unifoarme resist - fotolitografy - ûntwikkeling - etsen - diffúsje, ion-ymplantaasje - gemyske dampdeposysje - gemysk meganysk poetsjen - metallisaasje, ensfh.
Offalwetter
In grutte hoemannichte ôffalwetter wurdt generearre yn elke proses stap fan semiconductor fabrikaazje en ferpakking testen, benammen acid-base ôffalwetter, ammoniak-befette ôffalwetter en organysk ôffalwetter.
1. Fluor-befette ôffalwetter:
Fluorwetter wurdt it wichtichste solvent dat wurdt brûkt yn oksidaasje- en etsprosessen fanwegen syn oksidearjende en korrosive eigenskippen. Fluor-befette ôffalwetter yn it proses komt foaral út it diffusjonsproses en gemysk meganysk polystproses yn it chipfabrykproses. By it skjinmeitsjen fan silisiumwafels en relatearre gebrûksfoarwerpen wurdt sâltsoer ek in protte kearen brûkt. Al dizze prosessen wurde foltôge yn tawijde etstanks as skjinmakapparatuer, sadat fluor-befette ôffalwetter selsstannich kin wurde ôffierd. Neffens de konsintraasje kin it ûnderferdield wurde yn heechkonsintrearre fluorhâldend ôffalwetter en leechkonsintrearre ammoniakhâldend ôffalwetter. Yn 't algemien kin de konsintraasje fan hege konsintraasje ammoniak-befette ôffalwetter 100-1200 mg / L berikke. De measte bedriuwen recycle dit diel fan ôffalwetter foar prosessen dy't gjin hege wetterkwaliteit fereaskje.
2. Acid-base ôffalwetter:
Hast elk proses yn it produksjeproses fan yntegreare circuits fereasket dat de chip wurdt skjinmakke. Op it stuit binne swevelsûr en wetterstofperoxid de meast brûkte skjinmakfluiden yn it produksjeproses fan yntegreare circuits. Tagelyk wurde soere-basearre reagentia lykas salpetersûr, sâltsoer en ammoniakwetter ek brûkt.
It ôffalwetter op soerbasis fan it produksjeproses komt benammen út it skjinmeitsjen fan it chipfabrykproses. Yn it ferpakkingsproses wurdt de chip behannele mei soere-base-oplossing by elektroplatearjen en gemyske analyze. Nei behanneling moat it wosken wurde mei suver wetter om soere-basearre waskôffalwetter te meitsjen. Dêrnjonken wurde soere-base-reagenzjes lykas natriumhydroxide en hydrochloric acid ek brûkt yn it suvere wetterstasjon om anion- en kationharsen te regenerearjen om soer-base regeneraasjeôffalwetter te produsearjen. It waskjen fan sturtwetter wurdt ek produsearre tidens it waskjen fan ôffalgas op soerbasis. Yn bedriuwen foar produksje fan yntegreare circuits is de hoemannichte ôffalwetter op soerbasis benammen grut.
3. Organysk ôffalwetter:
Troch ferskate produksjeprosessen is de hoemannichte organyske solvents brûkt yn 'e healgelearderyndustry heul oars. As skjinmakmiddels wurde organyske oplosmiddels lykwols noch in protte brûkt yn ferskate keppelings fan ferpakking fan fabrikaazje. Guon solvents wurde organyske ôffalwetter ôffier.
4. Oare ôffalwetter:
It etsproses fan 'e semiconductor-produksjeproses sil in grutte hoemannichte ammoniak, fluor en wetter mei hege suverens brûke foar dekontaminaasje, wêrtroch't hege konsintraasje ammoniak-befette ôffalwetter ûntstean.
It galvanisearjende proses is fereaske yn it ferpakkingsproses fan semiconductor. De chip moat wurde skjinmakke nei electroplating, en electroplating skjinmeitsjen ôffalwetter sil wurde oanmakke yn dit proses. Sûnt guon metalen wurde brûkt yn electroplating, der sil wêze metalen ion útstjit yn de electroplating skjinmeitsjen ôffalwetter, lykas lead, tin, disc, sink, aluminium, etc.
ôffal gas
Sûnt de semiconductor proses hat ekstreem hege easken foar de skjinens fan 'e operaasje keamer, fans wurde meastentiids brûkt te extract ferskate soarten ôffal gassen fervluchtige tidens it proses. Dêrom wurde de útstjit fan ôffalgas yn 'e semiconductor-yndustry karakterisearre troch grut útlaatvolumint en lege útstjitkonsintraasje. Ek ôffalgasútstjit wurdt benammen ferdampt.
Dizze ôffalgasútstjit kin benammen ferdield wurde yn fjouwer kategoryen: soer gas, alkaline gas, organysk ôffalgas en giftich gas.
1. Acid-base ôffalgas:
Acid-base ôffalgas komt benammen út diffusion,CVD, CMP en etsprosessen, dy't soere-base-reinigingsoplossing brûke om de wafel skjin te meitsjen.
Op it stuit is it meast brûkte reinigingsoplosmiddel yn it produksjeproses fan semiconductors in mingsel fan wetterstofperoxide en sulfuric acid.
It ôffalgas dat wurdt generearre yn dizze prosessen omfettet soere gassen lykas sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, salpetersûr en phosphoric acid, en it alkaline gas is benammen ammoniak.
2. Organysk ôffalgas:
Organysk ôffalgas komt benammen út prosessen lykas fotolitografy, ûntwikkeling, etsen en diffúsje. Yn dizze prosessen wurdt organyske oplossing (lykas isopropylalkohol) brûkt om it oerflak fan 'e wafel skjin te meitsjen, en it ôffalgas dat ûntstiet troch ferdamping is ien fan 'e boarnen fan organyske ôffalgas;
Tagelyk befettet de fotoresist (fotoresist) dy't brûkt wurdt yn it proses fan fotolitografy en etsen flechtige organyske solvents, lykas butylacetat, dy't yn 'e sfear ferdampt yn' e wafelferwurkingsproses, dat is in oare boarne fan organysk ôffalgas.
3. Giftich ôffalgas:
Giftich ôffalgas komt benammen út prosessen lykas kristalepitaxy, droech etsen en CVD. Yn dizze prosessen wurde in ferskaat oan spesjale gassen mei hege suverens brûkt om de wafel te ferwurkjen, lykas silisium (SiHj), fosfor (PH3), koalstoftetrachloride (CFJ), boraan, boriumtrioxide, ensfh. Guon spesjale gassen binne giftich, asphyxiating en corrosive.
Tagelyk, yn it droege etsen en skjinmeitsjen proses nei gemyske damp deposition yn semiconductor manufacturing, in grutte hoemannichte fol okside (PFCS) gas is nedich, lykas NFS, C2F & CR, C3FS, CHF3, SF6, ensfh Dizze perfluorinated ferbiningen hawwe sterke absorption yn 'e ynfraread ljocht regio en bliuwe yn' e sfear foar in lange tiid. Se wurde algemien beskôge as de wichtichste boarne fan it globale broeikaseffekt.
4. Ferpakkingsproses ôffalgas:
Yn ferliking mei it produksjeproses foar semiconductor, is it ôffalgas dat wurdt generearre troch it ferpakkingsproses fan semiconductor relatyf ienfâldich, benammen soer gas, epoksyhars en stof.
Soer ôffalgas wurdt benammen opwekt yn prosessen lykas elektroplating;
Baking ôffal gas wurdt generearre yn it proses fan bakken nei produkt plakke en sealing;
De dicing masine genereart ôffalgas mei spoaren silisiumstof tidens it wafelsnijproses.
Miljeu fersmoarging problemen
Foar de problemen mei miljeufersmoarging yn 'e semiconductorsektor binne de wichtichste problemen dy't moatte wurde oplost:
· Grutskalige útstjit fan loftfersmoarging en flechtige organyske ferbiningen (VOC's) yn it fotolitografyproses;
· Emisje fan perfluorinearre ferbiningen (PFCS) yn plasma-etsen en gemyske dampdeposysjeprosessen;
· Grutskalige konsumpsje fan enerzjy en wetter yn produksje en feiligens beskerming fan arbeiders;
· Recycling en fersmoarging kontrôle fan byprodukten;
· Problemen mei it brûken fan gefaarlike gemikaliën yn ferpakkingsprosessen.
Clean produksje
Semiconductor apparaat skjinne produksje technology kin wurde ferbettere út 'e aspekten fan grûnstoffen, prosessen en proses kontrôle.
Ferbetterjen fan grûnstoffen en enerzjy
Earst, de suverens fan materialen moatte wurde strang kontrolearre te ferminderjen de ynfiering fan ûnreinheden en dieltsjes.
Twads moatte ferskate temperatuer, lekdeteksje, trilling, elektryske skok mei hege spanning en oare tests wurde útfierd op 'e ynkommende komponinten as semi-ferwurke produkten foardat se yn produksje wurde set.
Derneist moat de suverens fan helpstoffen strikt kontrolearre wurde. D'r binne relatyf in protte technologyen dy't brûkt wurde kinne foar skjinne produksje fan enerzjy.
Optimalisearje produksjeproses
De semiconductor yndustry sels stribbet nei it ferminderjen fan syn ynfloed op it miljeu troch proses technology ferbetterings.
Bygelyks, yn 'e jierren '70, organyske solvents waarden benammen brûkt foar it skjinmeitsjen fan wafels yn de yntegrearre circuit skjinmeitsjen technology. Yn 'e jierren '80 waarden soere en alkali-oplossingen lykas sulfuric acid brûkt om wafels skjin te meitsjen. Oant de jierren 1990 waard plasma soerstof skjinmeitsjen technology ûntwikkele.
Wat ferpakking oanbelanget, brûke de measte bedriuwen op it stuit elektroplateartechnology, dy't swiere metalen fersmoarging sil feroarsaakje foar it miljeu.
Ferpakkingsintrales yn Shanghai brûke lykwols gjin elektroplateartechnology mear, dus d'r is gjin ynfloed fan swiere metalen op it miljeu. It kin fûn wurde dat de semiconductor yndustry stadichoan ferminderet syn ynfloed op it miljeu troch proses ferbetterings en gemyske substitúsje yn syn eigen ûntwikkeling proses, dat folget ek de hjoeddeiske wrâldwide ûntwikkeling trend fan pleiten proses en produkt design basearre op it miljeu.
Op it stuit wurde mear lokale prosesferbetterings útfierd, ynklusyf:
· Ferfanging en reduksje fan all-ammonium PFCS-gas, lykas it brûken fan PFC's gas mei leech broeikaseffekt om gas te ferfangen mei hege broeikaseffekt, lykas it ferbetterjen fan prosesstream en it ferminderjen fan it bedrach fan PFCS-gas brûkt yn it proses;
· Ferbetterjen fan multi-wafer-reiniging nei ien-wafer-reiniging om it bedrach fan gemyske reinigingsmiddels te ferminderjen dy't brûkt wurde yn it skjinmeitsjenproses.
· Strikte proseskontrôle:
in. Realisearje automatisearring fan produksjeproses, dy't krekte ferwurking en batchproduksje kin realisearje, en it hege flatersifer fan hânmjittich operaasje ferminderje;
b. Ultra-skjin proses miljeu faktoaren, sa'n 5% of minder fan de opbringst ferlies wurdt feroarsake troch minsken en miljeu. Omjouwingsfaktoaren foar ultraskjinne proses omfetsje benammen luchtreinigens, wetter mei hege suverens, komprimearre loft, CO2, N2, temperatuer, fochtigens, ensfh. lucht, dat is, dieltsje konsintraasje;
c. Fersterkje deteksje, en selektearje passende kaaipunten foar detectie op wurkstasjons mei grutte hoemannichten ôffal tidens it produksjeproses.
Wolkom alle klanten fan oer de hiele wrâld om ús te besykjen foar in fierdere diskusje!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Post tiid: Aug-13-2024