Pourquoi utilise-t-on du ruban UV pour la découpe de plaquettes de silicium ? | VET Energy

Après letrancheLe processus précédent étant terminé, la préparation de la puce est achevée ; il faut maintenant la découper pour séparer les puces sur la plaquette, puis l'encapsuler.trancheLe procédé de découpe sélectionné pour les plaquettes d'épaisseurs différentes est également différent :

PlaquettesLes films d'une épaisseur supérieure à 100 µm sont généralement coupés à l'aide de lames ;

PlaquettesLes matériaux d'une épaisseur inférieure à 100 µm sont généralement découpés au laser. La découpe laser permet de réduire les problèmes de décollement et de fissuration, mais au-delà de 100 µm, l'efficacité de la production est fortement réduite.

PlaquettesLes plaquettes d'une épaisseur inférieure à 30 µm sont découpées au plasma. La découpe au plasma est rapide et n'endommage pas la surface de la plaquette, améliorant ainsi le rendement, mais son procédé est plus complexe ;

Lors du processus de découpe des plaquettes, un film est appliqué au préalable sur la plaquette afin d'assurer une séparation plus sûre. Ses principales fonctions sont les suivantes.

Découpe de plaquettes (3)

Réparer et protéger la plaquette

Lors de l'opération de découpe, la plaquette doit être coupée avec précision.PlaquettesLes plaquettes sont généralement fines et fragiles. Le ruban adhésif UV permet de les fixer fermement au cadre ou au porte-plaquette afin d'éviter tout déplacement ou vibration pendant la découpe, garantissant ainsi la précision de cette dernière.
Il peut assurer une bonne protection physique à la plaquette, évitant ainsi les dommages à latranchecausées par l'impact et le frottement de forces externes pouvant survenir pendant le processus de découpe, comme des fissures, un effondrement des bords et d'autres défauts, et protègent la structure de la puce et le circuit à la surface de la plaquette.

Découpe de plaquettes (2)

opération de découpe pratique

Le ruban UV possède l'élasticité et la flexibilité appropriées et se déforme modérément lors de la coupe, ce qui fluidifie le processus, réduit l'usure de la lame et de la plaquette et contribue à améliorer la qualité de coupe et la durée de vie de la lame. Ses caractéristiques de surface permettent aux débris générés par la coupe d'adhérer au ruban sans projection, facilitant ainsi le nettoyage ultérieur de la zone de coupe et maintenant un environnement de travail propre. Ce ruban évite également la contamination de la plaquette et des autres équipements par les débris.

Découpe de plaquettes (1)

Facile à manipuler par la suite

Une fois la plaquette découpée, la viscosité du ruban UV peut être rapidement réduite, voire complètement éliminée, en l'irradiant avec une lumière ultraviolette d'une longueur d'onde et d'une intensité spécifiques, de sorte que la puce découpée puisse être facilement séparée du ruban, ce qui est pratique pour l'encapsulation, les tests et autres étapes de traitement ultérieures de la puce, et ce processus de séparation présente un risque très faible d'endommager la puce.


Date de publication : 16 décembre 2024
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