Dual-Damascene est une technologie de processus utilisée pour fabriquer des interconnexions métalliques dans des circuits intégrés. Il s’agit d’un développement ultérieur du processus de Damas. En formant simultanément des trous et des rainures traversants au cours de la même étape du processus et en les remplissant de métal, la fabrication intégrée d'interconnexions métalliques est réalisée.
Pourquoi s'appelle-t-on Damas ?
La ville de Damas est la capitale de la Syrie et les épées de Damas sont célèbres pour leur tranchant et leur texture exquise. Une sorte de processus d'incrustation est nécessaire : tout d'abord, le motif requis est gravé sur la surface de l'acier Damas et les matériaux pré-préparés sont étroitement incrustés dans les rainures gravées. Une fois l'incrustation terminée, la surface peut être un peu inégale. L'artisan le polira soigneusement pour garantir la douceur de l'ensemble. Et ce processus est le prototype du processus double Damas de la puce. Tout d'abord, des rainures ou des trous sont gravés dans la couche diélectrique, puis du métal y est rempli. Après remplissage, l'excédent de métal sera éliminé par cmp.
Les principales étapes du processus double damasquinage comprennent :
▪ Dépôt de couche diélectrique :
Déposez une couche de matériau diélectrique, tel que du dioxyde de silicium (SiO2), sur le semi-conducteurtranche.
▪ Photolithographie pour définir le motif :
Utilisez la photolithographie pour définir le motif des vias et des tranchées sur la couche diélectrique.
▪Gravure:
Transférez le motif des vias et des tranchées sur la couche diélectrique via un processus de gravure sèche ou humide.
▪ Dépôt de métal :
Déposez du métal, tel que du cuivre (Cu) ou de l'aluminium (Al), dans des vias et des tranchées pour former des interconnexions métalliques.
▪ Polissage mécano-chimique :
Polissage chimico-mécanique de la surface métallique pour éliminer l'excès de métal et aplanir la surface.
Par rapport au processus de fabrication traditionnel d’interconnexions métalliques, le processus de double damasquinage présente les avantages suivants :
▪Étapes du processus simplifiées :en formant simultanément des vias et des tranchées au cours de la même étape de processus, les étapes de processus et le temps de fabrication sont réduits.
▪Amélioration de l'efficacité de la fabrication :en raison de la réduction des étapes du processus, le processus double damasquinage peut améliorer l'efficacité de la fabrication et réduire les coûts de production.
▪Améliorer les performances des interconnexions métalliques :le processus double damasquinage permet d'obtenir des interconnexions métalliques plus étroites, améliorant ainsi l'intégration et les performances des circuits.
▪Réduire la capacité et la résistance parasites :en utilisant des matériaux diélectriques à faible k et en optimisant la structure des interconnexions métalliques, la capacité et la résistance parasites peuvent être réduites, améliorant ainsi la vitesse et les performances de consommation d'énergie des circuits.
Heure de publication : 25 novembre 2024