Matériaux et structure du bateau en graphite
Le bateau en graphite est un équipement de traitement à haute température, généralement fabriqué en graphite de haute pureté et traité avec un revêtement de surface en SiC (carbure de silicium) ou TaC (carbure de tantale) pour améliorer la résistance globale à l'oxydation, la résistance à la corrosion et la durée de vie de l'équipement.
Dans le secteur manufacturier industriel,bateaux en graphiteCes supports sont généralement utilisés pour les plaquettes de silicium conventionnelles lors des procédés de revêtement. Leur structure comprend de nombreux supports espacés régulièrement. L'espace entre deux supports adjacents est très réduit, et les plaquettes de silicium sont placées de part et d'autre de l'ouverture.
Principe de fonctionnement d'un bateau en graphite
Le graphite, matériau des creusets, possède une bonne conductivité électrique et thermique. Une tension alternative est appliquée entre deux creusets adjacents pour former des électrodes positive et négative. Sous une certaine pression d'air et en présence de gaz dans la chambre, une décharge luminescente se produit entre les deux creusets. Cette décharge décompose le SiH₄ et le NH₃ présents, formant des ions Si et N qui se combinent pour former des molécules de SiNₓ. Ces molécules se déposent ensuite à la surface du graphite.plaquette de siliciumPour réaliser le revêtement, la structure et la taille du support en graphite, utilisé comme support pour le revêtement antireflet des cellules solaires, influent directement sur le rendement de conversion et le rendement de production des plaquettes de silicium.
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Bateau en graphite PECVD de haute pureté pour panneau solaire
Date de publication : 8 avril 2021