En tant que support de tranches de silicium normales dans le processus de production de revêtement, lebateau en graphitecomporte de nombreuses tranches de bateau avec un certain intervalle dans la structure, et il y a un espace très étroit entre deux tranches de bateau adjacentes, et des tranches de silicium sont placées des deux côtés de la porte vide.
Étant donné que le graphite, le matériau du bateau en graphite, a une bonne conductivité et conductivité thermique, une tension alternative est appliquée entre deux bateaux adjacents pour former des électrodes positives et négatives. Lorsqu'il y a une certaine pression d'air et de gaz dans la chambre, une décharge luminescente se produit entre les deux bateaux. La décharge luminescente peut décomposer les gaz SiH4 et NH3 dans l'espace, former des ions Si et N et se combiner pour former des molécules SiNx. Elle est déposée sur la surface de la plaquette de silicium pour atteindre l'objectif de revêtement.
En tant que support du revêtement antireflet des cellules solaires, la structure et la taille du bateau en graphite affectent directement l'efficacité de conversion et l'efficacité de production de la plaquette de silicium. Après des années de recherche et de développement technique, VET Energy dispose désormais d'équipements de production avancés, de concepteurs technologiques matures et d'un personnel de production expérimenté, et les matériaux sont des matières premières importées. À l'heure actuelle, le bateau en graphite fabriqué par notre société présente les avantages d'un rendement élevé. La structure est simple et la distance entre le bateau en graphite est raisonnable, ce qui rend le revêtement de la plaquette de silicium uniforme, améliore la qualité duplaquette de silicium, et rend l'efficacité de conversion de l'énergie solaire élevée. VET Energy dispose de toutes sortes de bateaux à encre dont le marché a actuellement besoin.
Bateau en graphite PECVD de haute pureté pour panneau solaire
Heure de publication : 08 avril 2021