Quand il y a du spermeactualités économiques, comprendre la complexité de la fabrication des semi-conducteurs est une nécessité. Les plaquettes semi-conductrices sont un élément crucial dans cette industrie, mais elles sont souvent confrontées à une contamination par diverses impuretés. Ces contaminants, notamment les atomes, les matières organiques, les ions d'éléments métalliques et les oxydes, peuvent avoir un impact sur la procédure de fabrication.
Particulestels que le polymère et les impuretés de gravure, qui dépendent de la force intermoléculaire pour s'adsorber sur la surface de la plaquette, affectent la photolithographie du dispositif.impuretés organiquescomme l'huile de peau homo et l'huile de machine forment un film sur la plaquette, entravent le nettoyage.ions d'éléments métalliquescomme le fer et l'aluminium, ils sont souvent éliminés par la formation d'un complexe d'ions d'éléments métalliques.Oxydesgênent la procédure de fabrication et sont généralement éliminés par trempage dans de l'acide fluorhydrique dilué.
méthodes chimiquessont couramment utilisés pour nettoyer et secouer les plaquettes semi-conductrices. les techniques de nettoyage chimique à l'humidité telles que l'immersion dans une solution et le gommage mécanique prédominent. Les méthodes de nettoyage supersoniques et mégasoniques offrent des moyens efficaces pour éliminer les impuretés. le nettoyage chimique sec, qui inclut la technologie du plasma et de la phase gazeuse, joue également un rôle dans les processus de nettoyage des plaquettes semi-conductrices.
Heure de publication : 29 octobre 2024