La structure interne de l'équipement tubulaire du four est expliquée en détail.

Comme indiqué ci-dessus, il s'agit d'un cas typique

La première moitié :

▪ Élément chauffant (serpentin chauffant) :

situé autour du tube du four, généralement constitué de fils résistifs, utilisé pour chauffer l'intérieur du tube du four.

▪ Tube de quartz :

Le cœur d'un four d'oxydation à chaud est constitué de quartz de haute pureté, capable de résister à des températures élevées et de rester chimiquement inerte.

▪ Alimentation en gaz :

Situé en haut ou sur le côté du tube du four, il sert à transporter l'oxygène ou d'autres gaz à l'intérieur du tube du four.

▪ Bride en acier inoxydable :

composants qui relient les tubes de quartz et les conduites de gaz, assurant l'étanchéité et la stabilité de la connexion.

▪ Conduites d'alimentation en gaz :

Tuyaux reliant le MFC au port d'alimentation en gaz pour le transport du gaz.

▪ MFC (Contrôleur de débit massique) :

Un dispositif qui contrôle le débit de gaz à l'intérieur d'un tube de quartz afin de réguler précisément la quantité de gaz nécessaire.

▪ Évent :

Utilisé pour évacuer les gaz d'échappement de l'intérieur du tube du four vers l'extérieur de l'équipement.

Partie inférieure :

▪ Plaquettes de silicium dans un support :

Les plaquettes de silicium sont placées dans un support spécial afin de garantir une chaleur uniforme pendant l'oxydation.

▪ Porte-plaquette :

Utilisé pour maintenir la plaquette de silicium et garantir sa stabilité pendant le processus.

▪ Piédestal :

Une structure qui maintient un porte-plaquette de silicium, généralement fabriqué dans un matériau résistant aux hautes températures.

▪ Ascenseur :

Utilisé pour soulever les porte-plaquettes dans et hors des tubes de quartz pour le chargement et le déchargement automatiques des plaquettes de silicium.

▪ Robot de transfert de plaquettes :

Situé sur le côté du dispositif tubulaire du four, il sert à retirer automatiquement la plaquette de silicium de la boîte et à la placer dans le tube du four, ou à la retirer après traitement.

▪ Carrousel de rangement pour cassettes :

Le carrousel de stockage de cassettes sert à stocker une boîte contenant des plaquettes de silicium et peut être mis en rotation pour permettre l'accès aux robots.