La structure interne de l'équipement du tube du four est expliquée en détail

Comme indiqué ci-dessus, c'est un exemple typique

La première moitié :

▪ Elément chauffant (serpentin chauffant) :

situé autour du tube du four, généralement constitué de fils de résistance, utilisé pour chauffer l'intérieur du tube du four.

▪ Tube de Quartz :

Le cœur d’un four d’oxydation à chaud, constitué de quartz de haute pureté pouvant résister à des températures élevées et rester chimiquement inerte.

▪ Alimentation en gaz :

Situé en haut ou sur le côté du tube du four, il est utilisé pour transporter l'oxygène ou d'autres gaz vers l'intérieur du tube du four.

▪ Bride SS :

composants qui relient les tubes de quartz et les conduites de gaz, assurant l'étanchéité et la stabilité de la connexion.

▪ Conduites d'alimentation en gaz :

Tuyaux qui relient le MFC au port d’alimentation en gaz pour le transport du gaz.

▪ MFC (Contrôleur de Débit Massique) :

Un appareil qui contrôle le débit de gaz à l’intérieur d’un tube de quartz pour réguler avec précision la quantité de gaz requise.

▪ Évent :

Utilisé pour évacuer les gaz d'échappement de l'intérieur du tube du four vers l'extérieur de l'équipement.

Partie inférieure :

▪ Plaquettes de silicium dans le support :

Les plaquettes de silicium sont logées dans un support spécial pour garantir une chaleur uniforme pendant l'oxydation.

▪ Porte-plaquette :

Utilisé pour maintenir la plaquette de silicium et garantir que la plaquette de silicium reste stable pendant le processus.

▪ Piédestal :

Structure qui contient un support de plaquette de silicium, généralement constitué d'un matériau résistant aux hautes températures.

▪ Ascenseur :

Utilisé pour soulever les supports de plaquettes dans et hors des tubes de quartz pour le chargement et le déchargement automatiques des plaquettes de silicium.

▪ Robot de transfert de plaquettes :

situé sur le côté du tube du four, il est utilisé pour retirer automatiquement la plaquette de silicium de la boîte et la placer dans le tube du four, ou pour la retirer après le traitement.

▪ Carrousel de stockage de cassettes :

Le carrousel de stockage de cassettes est utilisé pour stocker une boîte contenant des plaquettes de silicium et peut être tourné pour permettre l'accès du robot.