Avec la production de masse progressive de substrats conducteurs en SiC, des exigences plus élevées sont mises en avant en matière de stabilité et de répétabilité du processus. En particulier, le contrôle des défauts, le petit ajustement ou la dérive du champ thermique dans le four, provoqueront des changements cristallins ou une augmentation des défauts. Dans la période ultérieure, nous devons relever le défi de « grandir rapidement, long et épais, et grandir », en plus de l'amélioration de la théorie et de l'ingénierie, nous avons également besoin de matériaux de champ thermique plus avancés comme support. Utilisez des matériaux avancés, cultivez des cristaux avancés.
Une mauvaise utilisation de matériaux de creuset, tels que le graphite, le graphite poreux, la poudre de carbure de tantale, etc. dans le champ chaud entraînera des défauts tels qu'une inclusion accrue de carbone. De plus, dans certaines applications, la perméabilité du graphite poreux n'est pas suffisante et des trous supplémentaires sont nécessaires pour augmenter la perméabilité. Le graphite poreux à haute perméabilité fait face aux défis de traitement, d'élimination de la poudre, de gravure, etc.
VET présente une nouvelle génération de matériau de champ thermique à croissance cristalline SiC, le carbure de tantale poreux. Une première mondiale.
La résistance et la dureté du carbure de tantale sont très élevées et le rendre poreux constitue un défi. Fabriquer du carbure de tantale poreux avec une grande porosité et une grande pureté est un grand défi. Hengpu Technology a lancé un carbure de tantale poreux révolutionnaire avec une grande porosité, avec une porosité maximale de 75 %, leader mondial.
La filtration des composants en phase gazeuse, l'ajustement du gradient de température local, la direction du flux de matière, le contrôle des fuites, etc., peuvent être utilisés. Il peut être utilisé avec un autre revêtement en carbure de tantale solide (compact) ou en carbure de tantale de Hengpu Technology pour former des composants locaux avec une conductance d'écoulement différente.
Certains composants peuvent être réutilisés.
Heure de publication : 14 juillet 2023