Lors du processus d'épitaxie en phase vapeur (VPE), le rôle du socle est de soutenir le substrat et d'assurer un chauffage uniforme pendant le processus de croissance. Différents types de socles conviennent à différentes conditions de croissance et systèmes de matériaux. Voici quelques-uns des types de socles couramment utilisés en phase vapeurépitaxie:
Piédestal de baril
Les socles en tonneau sont couramment utilisés dans les systèmes d'épitaxie en phase vapeur horizontaux ou inclinés. Ils peuvent maintenir le substrat et permettre au gaz de circuler sur le substrat, ce qui contribue à obtenir une croissance épitaxiale uniforme.
Piédestal en forme de disque (piédestal vertical)
Les socles en forme de disque conviennent aux systèmes d'épitaxie en phase vapeur verticaux, dans lesquels le substrat est placé verticalement. Cette conception permet de réduire la zone de contact entre le substrat et le suscepteur, réduisant ainsi les pertes de chaleur et la contamination potentielle.
Suscepteur horizontal
Les suscepteurs horizontaux sont moins courants dans l'épitaxie en phase vapeur, mais peuvent être utilisés dans certains systèmes de croissance spécifiques pour permettre une croissance épitaxiale dans une direction horizontale.
Suscepteur de réaction épitaxiale monolithique
Le suscepteur de réaction épitaxiale monolithique est conçu pour un seul substrat, qui peut fournir un contrôle plus précis de la température et une meilleure isolation thermique, adapté à la croissance de couches épitaxiales de haute qualité.
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Heure de publication : 30 juillet 2024