Les principales fonctions debateau en carbure de siliciumle support et le support du bateau en quartz sont les mêmes.Bateau en carbure de siliciumle support a d’excellentes performances mais un prix élevé. Il constitue une relation alternative avec le support des bateaux à quartz dans les équipements de traitement de batteries soumis à des conditions de travail difficiles (tels que les équipements LPCVD et les équipements de diffusion de bore). Dans les équipements de traitement de batteries soumis à des conditions de travail ordinaires, en raison des relations de prix, les supports en carbure de silicium et en quartz deviennent des catégories coexistantes et concurrentes.
① Relation de substitution dans les équipements de diffusion LPCVD et bore
L'équipement LPCVD est utilisé pour l'oxydation tunnel des cellules de batterie et le processus de préparation de la couche de polysilicium dopé. Principe de fonctionnement :
Sous une atmosphère à basse pression, combinée à une température appropriée, une réaction chimique et la formation d'un film de dépôt sont obtenues pour préparer une couche d'oxyde tunnel ultra-mince et un film de polysilicium. Dans le processus d'oxydation tunnel et de préparation de la couche de polysilicium dopé, le support du bateau a une température de travail élevée et un film de silicium sera déposé sur la surface. Le coefficient de dilatation thermique du quartz est très différent de celui du silicium. Lorsqu'il est utilisé dans le processus ci-dessus, il est nécessaire de décaper et d'enlever régulièrement le silicium déposé sur la surface pour éviter que le support du bateau en quartz ne se brise en raison de la dilatation et de la contraction thermiques dues au coefficient de dilatation thermique différent du silicium. En raison du décapage fréquent et de la faible résistance aux températures élevées, le support de bateau en quartz a une durée de vie courte et est fréquemment remplacé dans le processus d'oxydation tunnel et de préparation de la couche de polysilicium dopé, ce qui augmente considérablement le coût de production de la cellule de batterie. Le coefficient de dilatation decarbure de siliciumest proche de celle du silicium. L'intégrébateau en carbure de siliciumLe support ne nécessite pas de décapage lors du processus d'oxydation tunnel et de préparation de la couche de polysilicium dopé. Il a une résistance élevée aux températures élevées et une longue durée de vie. C'est une bonne alternative au support bateau en quartz.
L'équipement d'expansion du bore est principalement utilisé pour le processus de dopage d'éléments de bore sur le substrat de plaquette de silicium de type N de la cellule de batterie afin de préparer l'émetteur de type P à former une jonction PN. Le principe de fonctionnement est de réaliser une réaction chimique et une formation de film de dépôt moléculaire dans une atmosphère à haute température. Une fois le film formé, il peut être diffusé par chauffage à haute température pour réaliser la fonction de dopage de la surface de la plaquette de silicium. En raison de la température de fonctionnement élevée de l'équipement d'expansion du bore, le support de bateau en quartz a une faible résistance aux hautes températures et une courte durée de vie dans l'équipement d'expansion du bore. L'intégrébateau en carbure de siliciumLe support a une résistance élevée aux températures élevées et constitue une bonne alternative au support de bateau en quartz dans le processus d'expansion du bore.
② Relation de substitution dans d'autres équipements de traitement
Les supports de bateaux SiC ont une capacité de production étroite et d’excellentes performances. Leur prix est généralement supérieur à celui des supports pour bateaux en quartz. Dans les conditions générales de travail des équipements de traitement cellulaire, la différence de durée de vie entre les supports de bateau en SiC et les supports de bateau en quartz est faible. Les clients en aval comparent et choisissent principalement entre le prix et les performances en fonction de leurs propres processus et besoins. Les supports de bateaux en SiC et les supports de bateaux en quartz sont devenus coexistants et compétitifs. Cependant, la marge bénéficiaire brute des supports de bateaux SiC est actuellement relativement élevée. Avec la baisse du coût de production des supports de bateaux en SiC, si le prix de vente des supports de bateaux en SiC diminue activement, cela entraînera également une plus grande compétitivité par rapport aux supports de bateaux en quartz.
Taux d'utilisation
La voie de la technologie cellulaire est principalement la technologie PERC et la technologie TOPCon. La part de marché de la technologie PERC est de 88 % et celle de la technologie TOPCon est de 8,3 %. La part de marché combinée des deux est de 96,30 %.
Comme le montre la figure ci-dessous :
Dans la technologie PERC, des supports de bateau sont nécessaires pour les processus de diffusion frontale du phosphore et de recuit. Dans la technologie TOPCon, des supports de bateau sont nécessaires pour les processus de diffusion avant du bore, de LPCVD, de diffusion arrière du phosphore et de recuit. À l'heure actuelle, les supports de bateaux en carbure de silicium sont principalement utilisés dans le procédé LPCVD de la technologie TOPCon, et leur application dans le procédé de diffusion du bore a été principalement vérifiée.
Figure Application des supports de bateau dans le processus de traitement cellulaire
Remarque : Après le revêtement recto et verso des technologies PERC et TOPCon, il existe encore des liens tels que la sérigraphie, le frittage et les tests et tris, qui n'impliquent pas l'utilisation de supports de bateau et ne sont pas répertoriés dans la figure ci-dessus.
Heure de publication : 15 octobre 2024