PECVD Loading Tray Deposition Grafiittialusta

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn PECVD-latausalusta on suunniteltu tarjoamaan turvallinen ja tasainen tuki kiekkoille levityksen aikana, mikä parantaa pinnoitusprosessin yhtenäisyyttä ja laatua. Erinomaisen lämmönkestävyytensä ansiosta grafiittikaukalo auttaa ylläpitämään hallittua ympäristöä PECVD-kammioissa, vähentäen kontaminaatioriskiä ja varmistaen korkean prosessin tehokkuuden.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energy PECVD -latausalusta on tarkkuuskuljetin, joka on suunniteltu PECVD-prosessiin (plasma tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus). Tämä korkealaatuinen saostusgrafiittialusta on valmistettu erittäin puhtaasta ja tiheästä grafiittimateriaalista. Sillä on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, korroosionkestävyys, mittastabiilius ja muut ominaisuudet. Se voi tarjota vakaan alustan PECVD-prosessille ja varmistaa kalvon kerrostumisen tasaisuuden ja tasaisuuden.

VET Energy PECVD -latausalustoja käytetään laajalti puolijohde-, aurinkosähkö-, LED- ja muilla aloilla. Esimerkiksi:

▪ Puolijohde: PECVD-prosessi puolijohdemateriaaleille, kuten piikiekot ja epitaksiaaliset kiekot.

▪ Aurinkosähkö: PECVD-prosessi aurinkokennoohutkalvoille.

▪ LED: PECVD-prosessi LED-siruille.

Tuotteen edut

▪Paranna elokuvan laatua:Varmista tasainen kalvon kerrostuminen ja paranna kalvon laatua.

▪Pidennä laitteen käyttöikää:Erinomainen korroosionkestävyys, pidentää PECVD-laitteiden käyttöikää.

▪Pienennä tuotantokustannuksia:Laadukkaat grafiittialustat voivat vähentää romun määrää ja alentaa tuotantokustannuksia.

SGL:n grafiittimateriaali:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Bulkkitiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avohuokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sähköinen ominaisvastus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutusvoima	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristusvoima	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen, ja se tukee suurikokoisten G12-kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kannatinrakenne lisää merkittävästi suorituskykyä, mikä mahdollistaa suuremmat tuottoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grphite vene	280