PECVD Graphite Wafer -tuki

PECVD Graphite Wafer Support Featured Image

Lyhyt kuvaus:

Tarkkuuteen ja suorituskykyyn suunniteltu VET Energyn Graphite Wafer Support on ihanteellinen materiaali käytettäväksi edistyneessä kiekkojen käsittelyssä, jossa korkea lämpöstabiilisuus ja tasainen suorituskyky ovat kriittisiä. Työskenteletpä sitten puolijohdekiekkojen tai muiden herkkien alustojen kanssa, tämä korkealaatuinen grafiittituki parantaa prosessisi luotettavuutta ja tuotteen laatua tehden siitä välttämättömän komponentin nykyaikaisessa valmistuksessa.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energy PECVD -prosessin grafiittikiekkojen tuki on PECVD-prosessiin (plasma tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus) suunniteltu ydinkulutusmateriaali. Tämä tuote on valmistettu erittäin puhtaasta, tiheästä grafiittimateriaalista, jolla on erinomainen korkean lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, mittojen vakaus ja muut ominaisuudet, ja se voi tarjota vakaan tukialustan PECVD-prosessille kalvon kerrostumisen tasaisuuden ja tasaisuuden varmistamiseksi.

VET Energyn grafiittikiekkojen tuen "grafiittituki" ei voi ainoastaan tukea kiekkoa tehokkaasti, vaan myös tarjota lämpöstabiilisuutta korkean lämpötilan ja korkean paineen PECVD-ympäristössä prosessin vakauden varmistamiseksi.

VET Energy PECVD -prosessigrafiittikiekkojen tuella on seuraavat ominaisuudet:

▪Korkea puhtaus:erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, vältä kalvon kontaminaatiota kalvon laadun varmistamiseksi.

▪Korkea tiheys:korkea tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta PECVD-ympäristössä.

▪Hyvä mittapysyvyys:pienet mittamuutokset korkeassa lämpötilassa prosessin vakauden varmistamiseksi.

▪Erinomainen lämmönjohtavuus:siirtää tehokkaasti lämpöä kiekkojen ylikuumenemisen estämiseksi.

▪Vahva korroosionkestävyys:Kestää erilaisten syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

▪Räätälöity palvelu:Erikokoisia ja -muotoisia grafiittitukipöytiä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

SGL:n grafiittimateriaali:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Bulkkitiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avohuokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sähköinen ominaisvastus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutusvoima	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristusvoima	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen, ja se tukee suurikokoisten G12-kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kannatinrakenne lisää merkittävästi suorituskykyä, mikä mahdollistaa suuremmat tuottoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grphite vene	280