Grafiittisubstraattikiekon pidike PECVD:lle

Grafiittisubstraattikiekkojen pidike PECVD-suositellulle kuvalle

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn grafiittialustan pidike on suunniteltu säilyttämään kiekkojen kohdistus ja vakauden koko PECVD-prosessin ajan, mikä estää kontaminoitumisen ja minimoi vaurioriskin. Grafiittikiekkojen pidike tarjoaa turvallisen, tasaisen alustan, joka varmistaa, että kiekot ovat tasaisesti alttiina plasmalle tasaisen ja laadukkaan kerrostumisen takaamiseksi. Korkean lämmönjohtavuutensa ja poikkeuksellisen lujuutensa ansiosta tämä pidike auttaa parantamaan yleistä prosessin tehokkuutta ja tuotteen suorituskykyä.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder on tarkkuuskantaja, joka on suunniteltu PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) -prosessiin. Tämä korkealaatuinen grafiittialustan pidike on valmistettu erittäin puhtaasta, tiheästä grafiittimateriaalista, jolla on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, korroosionkestävyys, mittapysyvyys ja muut ominaisuudet. Se voi tarjota vakaan tukialustan PECVD-prosessille ja varmistaa kalvon pinnoituksen tasaisuuden ja tasaisuuden.

VET Energy PECVD -prosessigrafiittikiekkojen tukipöydällä on seuraavat ominaisuudet:

▪Korkea puhtaus:erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, vältä kalvon kontaminaatiota, varmista kalvon laatu.

▪Korkea tiheys:korkea tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta PECVD-ympäristössä.

▪Hyvä mittapysyvyys:pieni mittamuutos korkeassa lämpötilassa, mikä varmistaa prosessin vakauden.

▪Erinomainen lämmönjohtavuus:siirtää tehokkaasti lämpöä kiekkojen ylikuumenemisen estämiseksi.

▪Vahva korroosionkestävyys:kestää erilaisten syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

▪Räätälöity palvelu:Erikokoisia ja -muotoisia grafiitin tukipöytiä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

Tuotteen edut

▪Paranna elokuvan laatua:Varmista tasainen kalvon kerrostuminen ja paranna kalvon laatua.

▪Pidennä laitteen käyttöikää:Erinomainen korroosionkestävyys, pidentää PECVD-laitteiden käyttöikää.

▪Pienennä tuotantokustannuksia:Laadukkaat grafiittialustat voivat vähentää romun määrää ja alentaa tuotantokustannuksia.

SGL:n grafiittimateriaali:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Bulkkitiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avohuokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sähköinen ominaisvastus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutusvoima	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristusvoima	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen, ja se tukee suurikokoisten G12-kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kannatinrakenne lisää merkittävästi suorituskykyä, mikä mahdollistaa suuremmat tuottoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grphite vene	280