Uunin putkilaitteiston sisäinen rakenne selitetään yksityiskohtaisesti

Kuten yllä näkyy, on tyypillinen

Ensimmäinen puoliaika:

▪ Lämmityselementti (lämmityspatteri):

sijaitsee uuniputken ympärillä, yleensä valmistettu vastuslangoista ja jota käytetään uuniputken sisäpuolen lämmittämiseen.

▪ Kvartsiputki:

Kuuman hapetusuunin ydin, joka on valmistettu erittäin puhtaasta kvartsista, joka kestää korkeita lämpötiloja ja pysyy kemiallisesti inerttinä.

▪ Kaasunsyöttö:

Sijaitsee uuniputken yläosassa tai sivulla, ja sitä käytetään kuljettamaan happea tai muita kaasuja uuniputken sisäpuolelle.

▪ SS-laippa:

komponentit, jotka yhdistävät kvartsiputkia ja kaasulinjoja varmistaen liitoksen tiiviyden ja vakauden.

▪ Kaasun syöttölinjat:

Putket, jotka yhdistävät MFC:n kaasunsyöttöporttiin kaasun siirtoa varten.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Laite, joka ohjaa kaasun virtausta kvartsiputken sisällä ja säätelee tarkasti tarvittavan kaasun määrää.

▪ Tuuletusaukko:

Käytetään pakokaasun poistamiseen uuniputken sisältä laitteen ulkopuolelle.

Alaosa:

▪ Piikiekkoja pidikkeessä:

Piikiekot on sijoitettu erityiseen pidikkeeseen tasaisen lämmön varmistamiseksi hapettumisen aikana.

▪ Kiekkopidike:

Käytetään pitämään piikiekko ja varmistamaan, että piikiekko pysyy vakaana prosessin aikana.

▪ Jalusta:

Rakenne, joka pitää piikiekon pidikkeen, joka on yleensä valmistettu korkeita lämpötiloja kestävästä materiaalista.

▪ Hissi:

Käytetään kiekkojen pidikkeiden nostamiseen kvartsiputkiin ja niistä ulos piikiekkojen automaattista lataamista ja purkamista varten.

▪ Kiekonsiirtorobotti:

sijaitsee uunin putkilaitteen sivulla, sitä käytetään automaattisesti poistamaan piikiekko laatikosta ja asettamaan se uuniputkeen tai poistamaan se käsittelyn jälkeen.

▪ Kasettien säilytyskaruselli:

Kasettien säilytyskarusellia käytetään piikiekkoja sisältävän laatikon säilyttämiseen, ja sitä voidaan kääntää robotin käsiksi.

▪ Vohvelikasetti:

kiekkokasettia käytetään prosessoitavien piikiekkojen säilyttämiseen ja siirtämiseen.