Kuten yllä näkyy, on tyypillinen
Ensimmäinen puoliaika:
Lämmityselementti (lämmityspatteri): sijaitsee uuniputken ympärillä, yleensä valmistettu vastuslangoista ja jota käytetään uuniputken sisäpuolen lämmittämiseen.
Kvartsiputki: Kuuman hapetusuunin ydin, joka on valmistettu erittäin puhtaasta kvartsista, joka kestää korkeita lämpötiloja ja pysyy kemiallisesti inerttinä.
Kaasusyöttö: Sijaitsee uuniputken yläosassa tai sivulla, ja sitä käytetään kuljettamaan happea tai muita kaasuja uuniputken sisäpuolelle.
SS-laippa: komponentit, jotka yhdistävät kvartsiputket ja kaasulinjat varmistaen liitoksen tiiviyden ja vakauden.
Kaasunsyöttölinjat: Putket, jotka yhdistävät MFC:n kaasun syöttöporttiin kaasun siirtoa varten.
MFC (Mass Flow Controller) : Laite, joka ohjaa kaasun virtausta kvartsiputken sisällä säätämään tarvittavan kaasun määrää tarkasti.
Tuuletus: Käytetään pakokaasun poistamiseen uuniputken sisältä laitteen ulkopuolelle.
Alaosa
Pitimessä olevat piikiekot: Piikiekot on sijoitettu erityiseen pidikkeeseen tasaisen lämmön varmistamiseksi hapettumisen aikana.
Kiekon pidike: Käytetään pitämään piikiekko ja varmistamaan, että piikiekko pysyy vakaana prosessin aikana.
Jalusta: Rakenne, jossa on piikiekon pidike, joka on yleensä valmistettu korkeita lämpötiloja kestävästä materiaalista.
Hissi: Käytetään kiekkojen pidikkeiden nostamiseen kvartsiputkiin ja niistä ulos piikiekkojen automaattista lataamista ja purkamista varten.
Wafer Transfer Robot: sijaitsee uuniputkilaitteen sivulla, sitä käytetään automaattisesti poistamaan piikiekko laatikosta ja asettamaan se uuniputkeen tai poistamaan se käsittelyn jälkeen.
Kasettien säilytyskaruselli: Kasettien säilytyskarusellia käytetään piikiekkoja sisältävän laatikon säilyttämiseen, ja sitä voidaan kääntää robotin käsiksi.
Kiekokasetti: kiekkokasettia käytetään prosessoitavien piikiekkojen säilyttämiseen ja siirtämiseen.
Postitusaika: 22.4.2024