Piikarbidin venetuen edut verrattuna kvartsivenetukeen

Päätoiminnotpiikarbidi venetuki ja kvartsivenetuki ovat samat.Piikarbidi venetuella on erinomainen suorituskyky, mutta korkea hinta. Se muodostaa vaihtoehtoisen suhteen kvartsivenetukeen akunkäsittelylaitteissa, joissa on ankarat työolosuhteet (kuten LPCVD-laitteet ja booridiffuusiolaitteet). Akunkäsittelylaitteissa normaaleissa työoloissa piikarbidi- ja kvartsivenetuesta tulee hintasuhteiden vuoksi rinnakkaisia ​​ja kilpailevia luokkia.

① Korvaussuhde LPCVD:ssä ja booridiffuusiolaitteistossa

LPCVD-laitteita käytetään akkukennojen tunnelointihapetukseen ja seostetun polypiikerroksen valmistusprosessiin. Toimintaperiaate:

Matalapaineilmakehässä, yhdistettynä sopivaan lämpötilaan, saadaan aikaan kemiallinen reaktio ja kerrostumiskalvon muodostuminen erittäin ohuen tunnelioksidikerroksen ja polypiikalvon valmistamiseksi. Tunnelointihapetuksen ja seostetun polypiikerroksen valmistusprosessissa veneen alustalla on korkea työskentelylämpötila ja pinnalle kertyy piikalvo. Kvartsin lämpölaajenemiskerroin on aivan erilainen kuin piin lämpölaajenemiskerroin. Yllä olevassa prosessissa käytettynä on tarpeen säännöllisesti peittaa ja poistaa pinnalle kertynyt pii, jotta kvartsivenetuki ei murtuisi lämpölaajenemisen ja piin erilaisen lämpölaajenemiskertoimen aiheuttaman supistumisen vuoksi. Toistuvan peittauksen ja alhaisen korkean lämpötilan lujuuden vuoksi kvartsivenepidikkeen käyttöikä on lyhyt, ja se vaihdetaan usein tunnelihapetus- ja seostettu polypiikerroksen valmistusprosessissa, mikä lisää merkittävästi akkukennon tuotantokustannuksia. Laajenemiskerroinpiikarbidion lähellä piitä. Integroitupiikarbidi venepidike ei vaadi peittausta tunnelihapetuksen ja seostetun polypiikerroksen valmistusprosessissa. Sillä on korkea lujuus korkeissa lämpötiloissa ja pitkä käyttöikä. Se on hyvä vaihtoehto kvartsivenetelineen.

Boorin paisuntalaitteita käytetään pääasiassa boorielementtien seostusprosessissa akkukennon N-tyypin piikiekkoalustalle P-tyypin emitterin valmistelemiseksi PN-liitoksen muodostamiseksi. Toimintaperiaate on toteuttaa kemiallinen reaktio ja molekyylipinnoituskalvon muodostuminen korkean lämpötilan ilmakehässä. Kun kalvo on muodostettu, se voidaan hajottaa korkean lämpötilan lämmityksellä piikiekon pinnan seostustoiminnon toteuttamiseksi. Booripaisuntalaitteiston korkeasta käyttölämpötilasta johtuen kvartsivenepitimellä on alhainen korkean lämpötilan lujuus ja lyhyt käyttöikä booripaisuntalaitteistossa. Integroitupiikarbidi venePitimellä on korkea lujuus korkeissa lämpötiloissa ja se on hyvä vaihtoehto kvartsivenepitimelle boorilaajenemisprosessissa.

② Korvaussuhde muissa prosessilaitteissa

SiC-venetuilla on tiukka tuotantokapasiteetti ja erinomainen suorituskyky. Niiden hinnat ovat yleensä korkeammat kuin kvartsivenetukien. Solunkäsittelylaitteiden yleisissä käyttöolosuhteissa piikarbidin ja kvartsivenetukien käyttöikäero on pieni. Jatkoketjun asiakkaat pääsääntöisesti vertailevat ja valitsevat hinnan ja suorituskyvyn välillä omien prosessiensa ja tarpeidensa perusteella. SiC-venetuet ja kvartsivenetuet ovat tulleet rinnakkain ja kilpailukykyisiksi. SiC-venetukien bruttokate on kuitenkin tällä hetkellä suhteellisen korkea. SiC-venetukien tuotantokustannusten laskun myötä, jos SiC-venetukien myyntihinta aktiivisesti laskee, se lisää kilpailukykyä myös kvartsiveneen kannattimille.

Käyttösuhde

Soluteknologian reitti on pääasiassa PERC-teknologiaa ja TOPCon-teknologiaa. PERC-teknologian markkinaosuus on 88 % ja TOPCon-teknologian 8,3 %. Näiden kahden yhteenlaskettu markkinaosuus on 96,30 %.

Kuten alla olevasta kuvasta näkyy:

PERC-tekniikassa tarvitaan venetukia etufosforin diffuusio- ja hehkutusprosesseihin. TOPCon-tekniikassa veneen tukia tarvitaan booridiffuusio-, LPCVD-, takafosforidiffuusio- ja hehkutusprosesseihin. Tällä hetkellä piikarbidivenetukia käytetään pääasiassa TOPCon-teknologian LPCVD-prosessissa ja niiden käyttö booridiffuusioprosessissa on pääosin todennettu.

Kuva Venetukien käyttö solunkäsittelyprosessissa

Huomautus: PERC- ja TOPCon-tekniikoiden etu- ja takapinnoituksen jälkeen on edelleen linkkejä, kuten silkkipainatus, sintraus ja testaus ja lajittelu, joihin ei liity veneen tukien käyttöä ja joita ei ole lueteltu yllä olevassa kuvassa.