Kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) on puolijohdeteollisuudessa laajimmin käytetty tekniikka erilaisten materiaalien kerrostamiseen, mukaan lukien laaja valikoima eristysmateriaaleja, useimmat metallimateriaalit ja metalliseosmateriaalit. CVD on perinteinen ohutkalvon valmistustekniikka. Sen periaate...
Lue lisää