پوشش SiC / بستر گرافیت پوشش داده شده / سینی برای نیمه هادی

توضیح کوتاه:

گیرنده گرافیت با روکش SiC انرژی VET برای رشد همپایی محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است.دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

پوشش SiC/پوشش گیرنده گرافیت برای نیمه هادی
 
گیرنده گرافیت با پوشش SiC یک جزء کلیدی است که در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی استفاده می شود.ما از فناوری ثبت اختراع خود برای ساختن حامل کاربید سیلیکون با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده می کنیم.

 امکانات: 
· مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی
· مقاومت در برابر شوک فیزیکی عالی
· مقاومت شیمیایی عالی
· خلوص فوق العاده بالا
· در دسترس بودن در شکل پیچیده
· قابل استفاده در اتمسفر اکسید کننده

کاربرد:

3

خواص معمولی مواد پایه گرافیت:

چگالی ظاهری: 1.85 گرم بر سانتی متر مکعب
مقاومت الکتریکی: 11 μΩm
قدرت خمشی: 49 مگاپاسکال (500 کیلوگرم بر سانتی‌متر مربع)
سختی ساحل: 58
خاکستر: <5ppm
رسانایی گرمایی: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

خواص فیزیکی اولیه CVD SiCپوشش

性质 / اموال

典型数值 / ارزش معمولی

晶体结构 / ساختار کریستالی

فاز β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / تراکم

3.21 گرم بر سانتی متر مکعب

硬度 / سختی

2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 تا 10 میکرومتر

纯度 / خلوص شیمیایی

99.99995%

热容 / ظرفیت گرمایی

640 ژون کیلوگرم-1· K-1

升华温度 / دمای تصعید

2700 ℃

抗弯强度 / قدرت خمشی

415 مگاپاسکال RT 4 نقطه

杨氏模量 / مدول یانگ

430 Gpa خم 4pt، 1300 ℃

导热系数 / رسانایی حرارتی

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy تولید کننده واقعی محصولات سفارشی گرافیت و کاربید سیلیکون با پوشش های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است، می تواند قطعات سفارشی مختلف را برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک تامین کند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری را برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌تری را برای تهیه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری ثبت شده را ایجاد کرده‌ایم که می‌تواند اتصال بین پوشش و بستر را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • قبلی:
  • بعد:

  • چت آنلاین واتس اپ!