سینی گرافیتی رسوب دهی سینی بارگیری PECVD

توضیحات کوتاه:

سینی بارگیری PECVD شرکت انرژی VET برای ارائه پشتیبانی ایمن و یکنواخت برای ویفرها در طول رسوب گذاری طراحی شده است و ثبات و کیفیت فرآیند رسوب گذاری را بهبود می بخشد. سینی گرافیت با مقاومت عالی در برابر حرارت، به حفظ یک محیط کنترل شده در داخل محفظه های PECVD کمک می کند، خطر آلودگی را کاهش می دهد و از راندمان بالای فرآیند اطمینان می دهد.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

سینی بارگیری PECVD انرژی VET یک حامل دقیق است که برای فرآیند PECVD (رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته پلاسما) طراحی شده است. این سینی گرافیت رسوب با کیفیت بالا از مواد گرافیت با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است. دارای مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر مشخصات است. این می تواند یک پلت فرم حامل پایدار برای فرآیند PECVD فراهم کند و از یکنواختی و صافی رسوب فیلم اطمینان حاصل کند.

سینی های بارگیری PECVD انرژی VET به طور گسترده در زمینه های نیمه هادی، فتوولتائیک، LED و سایر زمینه ها استفاده می شود. به عنوان مثال:

▪ نیمه هادی: فرآیند PECVD برای مواد نیمه هادی مانند ویفرهای سیلیکونی و ویفرهای همپای.

▪ فتوولتائیک: فرآیند PECVD برای لایه های نازک سلول خورشیدی.

▪ LED: فرآیند PECVD برای تراشه های LED.

مزایای محصول

بهبود کیفیت فیلم:اطمینان از رسوب یکنواخت فیلم و بهبود کیفیت فیلم.

افزایش عمر تجهیزات:مقاومت در برابر خوردگی عالی، عمر مفید تجهیزات PECVD را افزایش می دهد.

کاهش هزینه های تولید:سینی های گرافیتی با کیفیت بالا می توانند نرخ ضایعات را کاهش داده و هزینه های تولید را کاهش دهند.

مواد گرافیت از SGL:

پارامتر معمولی: R6510

شاخص استاندارد تست ارزش واحد
اندازه دانه متوسط ISO 13320 10 میکرومتر
چگالی ظاهری DIN IEC 60413/204 1.83 گرم بر سانتی متر3
تخلخل باز DIN66133 10 %
اندازه منافذ متوسط DIN66133 1.8 میکرومتر
نفوذپذیری DIN 51935 0.06 سانتی متر مربع در ثانیه
سختی راکول HR5/100 DIN IEC60413/303 90 HR
مقاومت الکتریکی خاص DIN IEC 60413/402 13 μΩm
استحکام خمشی DIN IEC 60413/501 60 MPa
مقاومت فشاری DIN 51910 130 MPa
مدول یانگ DIN 51915 11.5×10³ MPa
انبساط حرارتی (20-200 ℃) DIN 51909 4.2X10-6 K-1
هدایت حرارتی (20℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

این به طور خاص برای تولید سلول های خورشیدی با راندمان بالا طراحی شده است و از پردازش ویفر با اندازه بزرگ G12 پشتیبانی می کند. طراحی حامل بهینه به طور قابل توجهی توان عملیاتی را افزایش می‌دهد و نرخ بازده بالاتر و هزینه‌های تولید پایین‌تر را ممکن می‌سازد.

قایق گرافیتی
مورد تایپ کنید حامل ویفر شماره
PEVCD Grephite boat - سری 156 قایق گرفیت 156-13 144
قایق گرافیت 156-19 216
قایق گرافیت 156-21 240
قایق گرافیتی 156-23 308
PEVCD Grephite boat - سری 125 قایق گرفیت 125-15 196
قایق گرافیت 125-19 252
قایق grphite 125-21 280
مزایای محصول
مشتریان شرکت

  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس اپ!