پشتیبانی ویفر گرافیت فرآیند PECVD انرژی VET یک ماده مصرفی هسته ای است که برای فرآیند PECVD (رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته پلاسما) طراحی شده است. این محصول از مواد گرافیت با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است، با مقاومت در برابر درجه حرارت بالا، مقاومت در برابر خوردگی، ثبات ابعادی و سایر ویژگی ها، می تواند یک پلت فرم پشتیبانی پایدار برای فرآیند PECVD فراهم کند تا از یکنواختی و صافی رسوب فیلم اطمینان حاصل کند.
طراحی "پشتیبانی گرافیت" پشتیبانی ویفر گرافیت VET Energy نه تنها می تواند به طور موثر از ویفر پشتیبانی کند، بلکه پایداری حرارتی را در محیط PECVD با دمای بالا و فشار بالا برای اطمینان از پایداری فرآیند فراهم می کند.
پشتیبانی ویفر گرافیت فرآیند PECVD انرژی VET دارای ویژگی های زیر است:
▪خلوص بالا:محتوای ناخالصی بسیار کم، برای اطمینان از کیفیت فیلم، از آلودگی فیلم جلوگیری کنید.
▪چگالی بالا:چگالی بالا، استحکام مکانیکی بالا، می تواند در دمای بالا و محیط PECVD فشار بالا مقاومت کند.
▪ثبات ابعادی خوب:تغییرات ابعاد کوچک در دمای بالا برای اطمینان از پایداری فرآیند.
▪هدایت حرارتی عالی:انتقال موثر گرما برای جلوگیری از گرم شدن بیش از حد ویفر.
▪مقاومت در برابر خوردگی قوی:قادر به مقاومت در برابر فرسایش توسط گازهای خورنده مختلف و پلاسما است.
▪خدمات سفارشی:میزهای پشتیبانی گرافیت در اندازه ها و اشکال مختلف را می توان با توجه به نیاز مشتری سفارشی کرد.
مواد گرافیت از SGL:
| پارامتر معمولی: R6510 | |||
| شاخص | استاندارد تست | ارزش | واحد |
| اندازه دانه متوسط | ISO 13320 | 10 | میکرومتر |
| چگالی ظاهری | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | گرم بر سانتی متر3 |
| تخلخل باز | DIN66133 | 10 | % |
| اندازه منافذ متوسط | DIN66133 | 1.8 | میکرومتر |
| نفوذپذیری | DIN 51935 | 0.06 | سانتی متر مربع در ثانیه |
| سختی راکول HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مقاومت الکتریکی خاص | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| استحکام خمشی | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| مقاومت فشاری | DIN 51910 | 130 | MPa |
| مدول یانگ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| انبساط حرارتی (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| هدایت حرارتی (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
این به طور خاص برای تولید سلول های خورشیدی با راندمان بالا طراحی شده است و از پردازش ویفر با اندازه بزرگ G12 پشتیبانی می کند. طراحی حامل بهینه به طور قابل توجهی توان عملیاتی را افزایش می‌دهد و نرخ بازده بالاتر و هزینه‌های تولید پایین‌تر را ممکن می‌سازد.
| مورد | تایپ کنید | حامل ویفر شماره |
| PEVCD Grephite boat - سری 156 | قایق گرفیت 156-13 | 144 |
| قایق گرافیت 156-19 | 216 | |
| قایق گرافیت 156-21 | 240 | |
| قایق گرافیتی 156-23 | 308 | |
| PEVCD Grephite boat - سری 125 | قایق گرفیت 125-15 | 196 |
| قایق گرافیت 125-19 | 252 | |
| قایق grphite 125-21 | 280 |
