قایق ویفر گرافیتی VET Energy یک ماده مصرفی با کیفیت بالا است که برای فرآیندهای رسوب گذاری در صنایع نیمه هادی، فتوولتائیک و سایر صنایع طراحی شده است. ساخته شده از مواد گرافیت با خلوص بالا و چگالی بالا، این محصول دارای مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر ویژگی ها است و می تواند یک پلت فرم حامل پایدار را برای فرآیند رسوب فراهم کند تا از یکنواختی و صافی رسوب لایه نازک اطمینان حاصل کند. .
قایق گرافیتی PECVD از شرکت VET Energy با گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا، دارای تخلخل زیر 15 درصد و زبری سطح Ra≤1.6μm ساخته شده است. ثبات ابعادی برتر و هدایت حرارتی، رسوب یکنواخت فیلم و افزایش کارایی سلول را تضمین می کند.
مواد گرافیت از SGL:
| پارامتر معمولی: R6510 | |||
| شاخص | استاندارد تست | ارزش | واحد |
| اندازه دانه متوسط | ISO 13320 | 10 | میکرومتر |
| چگالی ظاهری | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | گرم بر سانتی متر3 |
| تخلخل باز | DIN66133 | 10 | % |
| اندازه منافذ متوسط | DIN66133 | 1.8 | میکرومتر |
| نفوذپذیری | DIN 51935 | 0.06 | سانتی متر مربع در ثانیه |
| سختی راکول HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مقاومت الکتریکی خاص | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| استحکام خمشی | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| مقاومت فشاری | DIN 51910 | 130 | MPa |
| مدول یانگ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| انبساط حرارتی (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| هدایت حرارتی (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
این به طور خاص برای تولید سلول های خورشیدی با راندمان بالا طراحی شده است و از پردازش ویفر با اندازه بزرگ G12 پشتیبانی می کند. طراحی حامل بهینه به طور قابل توجهی توان عملیاتی را افزایش می‌دهد و نرخ بازده بالاتر و هزینه‌های تولید پایین‌تر را ممکن می‌سازد.
| مورد | تایپ کنید | حامل ویفر شماره |
| PEVCD Grephite boat - سری 156 | قایق گرفیت 156-13 | 144 |
| قایق گرافیت 156-19 | 216 | |
| قایق گرافیت 156-21 | 240 | |
| قایق گرافیتی 156-23 | 308 | |
| PEVCD Grephite boat - سری 125 | قایق گرفیت 125-15 | 196 |
| قایق گرافیت 125-19 | 252 | |
| قایق grphite 125-21 | 280 |
