عملکرد قایق گرافیتی PECVD چیست؟

به عنوان حامل ویفرهای سیلیکونی معمولی در تولید فرآیند پوشش،قایق گرافیتیویفرهای قایق زیادی با فواصل مشخص در ساختار دارد و بین دو ویفر قایق مجاور هم فضای بسیار باریکی وجود دارد و در دو طرف درب خالی ویفرهای سیلیکونی قرار داده شده است.

از آنجایی که گرافیت، ماده قایق گرافیتی، رسانایی و هدایت حرارتی خوبی دارد، ولتاژ AC بین دو قایق مجاور اعمال می شود تا الکترودهای مثبت و منفی تشکیل شود. هنگامی که فشار هوا و گاز معینی در محفظه وجود دارد، تخلیه درخششی بین دو قایق رخ می دهد. تخلیه درخشان می تواند گاز SiH4 و NH3 را در فضا تجزیه کند، یون های Si و N را تشکیل دهد و برای تشکیل مولکول های SiNx ترکیب شود و برای رسیدن به هدف پوشش روی سطح ویفر سیلیکونی رسوب می کند.

به عنوان حامل پوشش ضد انعکاس سلول خورشیدی، ساختار و اندازه قایق گرافیتی مستقیماً بر راندمان تبدیل و راندمان تولید ویفر سیلیکونی تأثیر می گذارد. پس از سالها تحقیق و توسعه فنی، شرکت ما اکنون دارای تجهیزات تولید پیشرفته، طراحان فن آوری بالغ و کارکنان تولید با تجربه است و مواد اولیه وارداتی است. در حال حاضر، قایق گرافیتی تولید شده توسط شرکت ما دارای مزایای بازدهی بالا است، ساختار ساده و فاصله بین قایق گرافیتی مناسب است که باعث یکنواختی پوشش ویفر سیلیکونی، بهبود کیفیت ویفر سیلیکونی و راندمان تبدیل انرژی خورشیدی بالا است. شرکت شیجین دارای انواع قایق های جوهرافشان است که هم اکنون بازار به آنها نیاز دارد

21


زمان ارسال: آوریل-08-2021
چت آنلاین واتس اپ!