ساختار داخلی تجهیزات لوله کوره به تفصیل توضیح داده شده است

همانطور که در بالا نشان داده شده است، یک نمونه است

نیمه اول:
عنصر گرمایش (کویل گرمایش): در اطراف لوله کوره قرار دارد که معمولاً از سیم های مقاومتی ساخته می شود و برای گرم کردن داخل لوله کوره استفاده می شود.
لوله کوارتز: هسته یک کوره اکسیداسیون داغ، ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا که می تواند دمای بالا را تحمل کند و از نظر شیمیایی بی اثر بماند.
تغذیه گاز: در قسمت بالایی یا کناری لوله کوره قرار دارد و برای انتقال اکسیژن یا گازهای دیگر به داخل لوله کوره استفاده می شود.
فلنج SS: قطعاتی که لوله‌های کوارتز و خطوط گاز را به هم متصل می‌کنند و محکم و پایداری اتصال را تضمین می‌کنند.
خطوط تغذیه گاز: لوله هایی که MFC را برای انتقال گاز به درگاه تامین گاز متصل می کنند.
MFC (کنترل کننده جریان انبوه): دستگاهی است که جریان گاز را در داخل یک لوله کوارتز برای تنظیم دقیق مقدار گاز مورد نیاز کنترل می کند.
هواکش: برای تخلیه گاز خروجی از داخل لوله کوره به بیرون تجهیزات استفاده می شود.

بخش پایینی
ویفرهای سیلیکونی در نگهدارنده: ویفرهای سیلیکونی در یک نگهدارنده مخصوص قرار می گیرند تا از گرمای یکنواخت در طول اکسیداسیون اطمینان حاصل شود.
نگهدارنده ویفر: برای نگه داشتن ویفر سیلیکونی و اطمینان از پایدار ماندن ویفر سیلیکونی در طول فرآیند استفاده می شود.
پایه: ساختاری که نگهدارنده ویفر سیلیکونی است که معمولاً از مواد مقاوم در برابر دمای بالا ساخته شده است.
آسانسور: برای بلند کردن نگهدارنده های ویفر به داخل و خارج از لوله های کوارتز برای بارگیری و تخلیه خودکار ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود.
ربات انتقال ویفر: در کنار دستگاه لوله کوره قرار دارد و برای خارج کردن اتوماتیک ویفر سیلیکونی از جعبه و قرار دادن آن در لوله کوره استفاده می شود و یا پس از پردازش آن را خارج می کند.
چرخ فلک ذخیره سازی کاست: چرخ فلک ذخیره کاست برای نگهداری جعبه حاوی ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود و می توان آن را برای دسترسی ربات چرخاند.
ویفر کاست: کاست ویفر برای ذخیره و انتقال ویفرهای سیلیکونی برای پردازش استفاده می شود.