ساختار داخلی تجهیزات لوله کوره به تفصیل توضیح داده شده است

همانطور که در بالا نشان داده شده است، یک نمونه است

نیمه اول:

▪ عنصر گرمایش (کویل گرمایش):

در اطراف لوله کوره قرار دارد که معمولاً از سیم های مقاومتی ساخته می شود که برای گرم کردن داخل لوله کوره استفاده می شود.

▪ لوله کوارتز:

هسته یک کوره اکسیداسیون داغ، ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا که می تواند دماهای بالا را تحمل کند و از نظر شیمیایی بی اثر بماند.

▪ خوراک گاز:

در قسمت بالایی یا کناری لوله کوره قرار دارد و برای انتقال اکسیژن یا گازهای دیگر به داخل لوله کوره استفاده می شود.

▪ فلنج SS:

قطعاتی که لوله‌های کوارتز و خطوط گاز را به هم متصل می‌کنند و محکم و پایداری اتصال را تضمین می‌کنند.

▪ خطوط تغذیه گاز:

لوله هایی که MFC را به درگاه تامین گاز برای انتقال گاز وصل می کنند.

▪ MFC (کنترل کننده جریان انبوه):

دستگاهی که جریان گاز را در داخل یک لوله کوارتز کنترل می کند تا مقدار گاز مورد نیاز را دقیقاً تنظیم کند.

▪ دریچه:

برای تخلیه گاز خروجی از داخل لوله کوره به خارج از تجهیزات استفاده می شود.

قسمت پایین:

▪ ویفرهای سیلیکونی در نگهدارنده:

ویفرهای سیلیکونی در یک نگهدارنده مخصوص قرار می گیرند تا از گرمای یکنواخت در طول اکسیداسیون اطمینان حاصل شود.

▪ نگهدارنده ویفر:

برای نگه داشتن ویفر سیلیکونی و اطمینان از پایدار ماندن ویفر سیلیکونی در طول فرآیند استفاده می شود.

▪ پایه:

ساختاری که نگهدارنده ویفر سیلیکونی است که معمولاً از مواد مقاوم در برابر دمای بالا ساخته شده است.

▪ آسانسور:

برای بلند کردن نگهدارنده های ویفر به داخل و خارج از لوله های کوارتز برای بارگیری و تخلیه خودکار ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود.

▪ ربات انتقال ویفر:

که در کنار دستگاه لوله کوره قرار دارد، برای خارج کردن خودکار ویفر سیلیکونی از جعبه و قرار دادن آن در لوله کوره استفاده می شود و یا پس از پردازش آن را خارج می کند.

▪ چرخ فلک نگهدارنده کاست:

چرخ فلک ذخیره کاست برای نگهداری جعبه حاوی ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود و برای دسترسی ربات قابل چرخش است.

▪ ویفر کاست:

ویفر کاست برای ذخیره و انتقال ویفرهای سیلیکونی برای پردازش استفاده می شود.