انرژی VETحامل گرافیت فرآیند PECVD یک ماده مصرفی با کیفیت بالا است که برای فرآیند PECVD (رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما) طراحی شده است. این حامل گرافیت از مواد گرافیتی با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است، با مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر ویژگی ها، می تواند یک پلت فرم حامل پایدار را برای فرآیند PECVD فراهم کند تا از یکنواختی و صافی لایه نازک اطمینان حاصل کند. رسوب گذاری
حامل های گرافیت برای فرآیند PECVD دارای ویژگی های زیر هستند:
▪ خلوص بالا: محتوای ناخالصی بسیار کم، جلوگیری از آلودگی فیلم و تضمین کیفیت فیلم.
▪ چگالی بالا: چگالی بالا، استحکام مکانیکی بالا، قادر به مقاومت در برابر دمای بالا و فشار بالا محیط PECVD.
▪ پایداری ابعادی خوب: تغییر ابعاد کوچک در دمای بالا، تضمین ثبات فرآیند.
▪ هدایت حرارتی عالی: انتقال موثر گرما برای جلوگیری از گرم شدن بیش از حد ویفر.
▪ مقاومت در برابر خوردگی قوی: قادر به مقاومت در برابر فرسایش توسط گازهای خورنده مختلف و پلاسما است.
▪ خدمات سفارشی: حامل های گرافیتی در اندازه ها و اشکال مختلف را می توان با توجه به نیاز مشتری سفارشی کرد.
مواد گرافیت از SGL:
| پارامتر معمولی: R6510 | |||
| شاخص | استاندارد تست | ارزش | واحد |
| اندازه دانه متوسط | ISO 13320 | 10 | میکرومتر |
| چگالی ظاهری | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | گرم بر سانتی متر3 |
| تخلخل باز | DIN66133 | 10 | % |
| اندازه منافذ متوسط | DIN66133 | 1.8 | میکرومتر |
| نفوذپذیری | DIN 51935 | 0.06 | سانتی متر مربع در ثانیه |
| سختی راکول HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مقاومت الکتریکی خاص | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| استحکام خمشی | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| مقاومت فشاری | DIN 51910 | 130 | MPa |
| مدول یانگ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| انبساط حرارتی (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| هدایت حرارتی (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
این به طور خاص برای تولید سلول های خورشیدی با راندمان بالا طراحی شده است و از پردازش ویفر با اندازه بزرگ G12 پشتیبانی می کند. طراحی حامل بهینه به طور قابل توجهی توان عملیاتی را افزایش می‌دهد و نرخ بازده بالاتر و هزینه‌های تولید پایین‌تر را ممکن می‌سازد.
| مورد | تایپ کنید | حامل ویفر شماره |
| PEVCD Grephite boat - سری 156 | قایق گرفیت 156-13 | 144 |
| قایق گرافیت 156-19 | 216 | |
| قایق گرافیت 156-21 | 240 | |
| قایق گرافیتی 156-23 | 308 | |
| PEVCD Grephite boat - سری 125 | قایق گرفیت 125-15 | 196 |
| قایق گرافیت 125-19 | 252 | |
| قایق grphite 125-21 | 280 |
