انرژی VET از خلوص فوق العاده بالا استفاده می کندکاربید سیلیکون (SiC)از رسوب شیمیایی بخار تشکیل شده است(CVD)به عنوان منبعی برای رشدکریستال های SiCبا انتقال بخار فیزیکی (PVT). در PVT، ماده منبع در a بارگذاری می شودبوتهو بر روی یک کریستال دانه تصعید می شود.
یک منبع خلوص بالا برای تولید با کیفیت بالا مورد نیاز استکریستال های SiC.
VET Energy در ارائه SiC ذرات بزرگ برای PVT تخصص دارد زیرا چگالی بالاتری نسبت به مواد ذرات کوچکی دارد که از احتراق خود به خود گازهای حاوی سی و سی تشکیل شده است. برخلاف پخت فاز جامد یا واکنش Si و C، نیازی به کوره تف جوشی اختصاصی یا مرحله پخت زمان‌بر در کوره رشد ندارد. این ماده با ذرات درشت دارای نرخ تبخیر تقریبا ثابتی است که یکنواختی اجرا تا اجرا را بهبود می بخشد.
مقدمه:
1. تهیه منبع بلوک CVD-SiC: ابتدا باید یک منبع بلوک CVD-SiC با کیفیت بالا تهیه کنید که معمولاً از خلوص بالا و چگالی بالا برخوردار است. این را می توان با روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) تحت شرایط واکنش مناسب تهیه کرد.
2. آماده سازی بستر: یک بستر مناسب را به عنوان بستر رشد تک کریستال SiC انتخاب کنید. مواد بستر متداول مورد استفاده شامل کاربید سیلیکون، نیترید سیلیکون و غیره است که تطابق خوبی با تک کریستال SiC در حال رشد دارند.
3. گرمایش و تصعید: منبع بلوک CVD-SiC و بستر را در یک کوره با دمای بالا قرار دهید و شرایط تصعید مناسب را فراهم کنید. تصعید به این معنی است که در دمای بالا، منبع بلوک مستقیماً از حالت جامد به حالت بخار تغییر می‌کند و سپس دوباره بر روی سطح زیرلایه متراکم می‌شود و یک کریستال واحد را تشکیل می‌دهد.
4. کنترل دما: در طول فرآیند تصعید، گرادیان دما و توزیع دما باید دقیقاً کنترل شود تا تصعید منبع بلوک و رشد تک بلورها افزایش یابد. کنترل دمای مناسب می تواند به کیفیت کریستال و سرعت رشد ایده آل دست یابد.
5. کنترل اتمسفر: در طی فرآیند تصعید، جو واکنش نیز نیاز به کنترل دارد. گاز بی اثر با خلوص بالا (مانند آرگون) معمولاً به عنوان گاز حامل برای حفظ فشار و خلوص مناسب و جلوگیری از آلودگی توسط ناخالصی ها استفاده می شود.
6. رشد تک کریستال: منبع بلوک CVD-SiC در طول فرآیند تصعید تحت یک انتقال فاز بخار قرار می گیرد و دوباره بر روی سطح بستر متراکم می شود تا یک ساختار کریستالی واحد را تشکیل دهد. رشد سریع تک بلورهای SiC را می توان از طریق شرایط تصعید مناسب و کنترل گرادیان دما به دست آورد.
به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!
