SiC kate Grafiit MOCVD vahvlikandjad sustseptorid

SiC Coating Graphite MOCVD vahvlikandjate sustseptorid Esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

VET Energy SiC kaetud MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth on suure jõudlusega toode, mis on loodud pakkuma püsivat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste, erosioonikindlus, mistõttu on see ideaalne lahendus vahvlite töötlemiseks.

Saatke meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

SiC kattega grafiit MOCVD Vahvlikandjad/sustseptor

Kõik meie susceptorid on valmistatud ülitugevast isostaatilisest grafiidist. Kasutage meie grafiitide kõrget puhtust – see on välja töötatud spetsiaalselt keeruliste protsesside jaoks, nagu epitakseerimine, kristallide kasvatamine, ioonide implanteerimine ja plasmasöövitus, samuti LED-kiipide tootmiseks.

Meie toodete omadused:

1. Kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus kuni 1700 ℃.
2. Kõrge puhtusaste ja termiline ühtlus
3. Suurepärane korrosioonikindlus: happe, leelise, soola ja orgaanilised reaktiivid.
4. Kõrge kõvadus, kompaktne pind, peened osakesed.
5. Pikem kasutusiga ja vastupidavam

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine
性质 / Kinnisvara	典型数值 / Tüüpiline väärtus
晶体结构 / Kristallstruktuur	FCC β faas多晶，主要为（111）取向
密度 / Tihedus	3,21 g/cm³
硬度 / Kõvadus	2500 维氏硬度 (500 g koorem)
晶粒大小 / Terasuurus	2-10 μm
纯度 / Keemiline puhtus	99,99995%
热容 / Soojusvõimsus	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
抗弯强度 / Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJuhtivus	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy on erinevate kattekihtidega kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, tõeline tootja, kes suudab tarnida erinevaid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstuste jaoks.

Meie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest teadusasutustest ja suudab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda täiustatud materjale, ja oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis võib muuta katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem eraldumisohtlikuks.

Tere tulemast meie tehast külastama, arutame edasi!