SiC kate/kaetud grafiidist aluspind/alus pooljuhtide jaoks

Lühikirjeldus:

VET Energy SiC-ga kaetud grafiidisusceptor epitaksiaalseks kasvuks on suure jõudlusega toode, mis on loodud pakkuma püsivat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste, erosioonikindlus, mistõttu on see ideaalne lahendus vahvlite töötlemiseks.


Toote üksikasjad

Tootesildid

SiC-kate/pooljuhtide grafiidisusseptori katmine
 
TheSiC kaetud grafiidist aluspindon väga vastupidav ja tõhus lahendus, mis on loodud vastama pooljuhtide töötlemise tööstuse rangetele nõudmistele. Kõrge puhtusastmega kihtränikarbiidi (SiC) kate, pakub see substraat erakordset termilist stabiilsust, oksüdatsioonikindlust ja pikemat kasutusiga, muutes selle ideaalseks kasutamiseks MOCVD-protsessides, grafiitplaadi kandjatel ja muudes kõrge temperatuuriga keskkondades.

 Omadused: 
· Suurepärane soojuslöögikindlus
· Suurepärane füüsiline löögikindlus
· Suurepärane keemiline vastupidavus
· Ülikõrge puhtusastmega
· Saadavus keerulises vormis
· Kasutatav oksüdeerivas atmosfääris

Rakendus:

3

Toote omadused ja eelised:

1. Suurepärane soojustakistus:Kõrge puhtusastmegaSiC kate, substraat talub äärmuslikke temperatuure, tagades ühtlase jõudluse nõudlikes keskkondades, nagu epitaksia ja pooljuhtide tootmine.

2. Täiustatud vastupidavus:SiC-ga kaetud grafiitkomponendid on loodud vastu pidama keemilisele korrosioonile ja oksüdatsioonile, pikendades aluspinna eluiga võrreldes tavaliste grafiitaluspindadega.

3. Klaaskehaga kaetud grafiit:Ainulaadne klaaskeha struktuurSiC katetagab suurepärase pinna kareduse, minimeerides kulumist kõrgel temperatuuril töötlemisel.

4. Kõrge puhtusastmega SiC kate:Meie substraat tagab tundlikes pooljuhtprotsessides minimaalse saastumise, pakkudes töökindlust tööstustele, mis nõuavad ranget materjalipuhtust.

5. Lai tururakendus:TheSiC-kattega grafiidisusseptorturg kasvab jätkuvalt, kuna nõudlus täiustatud ränikarbiidiga kaetud toodete järele pooljuhtide tootmises kasvab, mis muudab selle substraadi võtmetegijaks nii grafiitplaatide kandjate kui ka ränikarbiidiga kaetud grafiitplaatide turul.

Alusgrafiitmaterjali tüüpilised omadused:

Näiv tihedus: 1,85 g/cm3
Elektriline takistus: 11 μΩm
Paindetugevus: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore'i kõvadus: 58
Tuhk: <5 ppm
Soojusjuhtivus: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine

性质 / Kinnisvara

典型数值 / Tüüpiline väärtus

晶体结构 / Kristallstruktuur

FCC β faas 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tihedus

3,21 g/cm³

硬度 / kõvadus

2500 维氏硬度 (500 g koorem)

晶粒大小 / Grain Size

2-10 μm

纯度 / Keemiline puhtus

99,99995%

热容 / Soojusvõimsus

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur

2700 ℃

抗弯强度 / Paindetugevus

415 MPa RT 4-punktiline

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃

导热系数 / Soojusjuhtivus

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / soojuspaisumine (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy on erinevate kattekihtidega kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, tõeline tootja, kes suudab tarnida erinevaid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstuste jaoks.

Meie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest teadusasutustest ja suudab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda täiustatud materjale, ja oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis võib muuta katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem eraldumisohtlikuks.

Tere tulemast meie tehast külastama, arutame edasi!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • WhatsAppi veebivestlus!