Omadused:
· Suurepärane soojuslöögikindlus
· Suurepärane füüsiline löögikindlus
· Suurepärane keemiline vastupidavus
· Ülikõrge puhtusastmega
· Saadavus keerulises vormis
· Kasutatav oksüdeerivas atmosfääris
Rakendus:
Toote omadused ja eelised:
1. Suurepärane soojustakistus:Kõrge puhtusastmegaSiC kate, substraat talub äärmuslikke temperatuure, tagades ühtlase jõudluse nõudlikes keskkondades, nagu epitaksia ja pooljuhtide tootmine.
2. Täiustatud vastupidavus:SiC-ga kaetud grafiitkomponendid on loodud vastu pidama keemilisele korrosioonile ja oksüdatsioonile, pikendades aluspinna eluiga võrreldes tavaliste grafiitaluspindadega.
3. Klaaskehaga kaetud grafiit:Ainulaadne klaaskeha struktuurSiC katetagab suurepärase pinna kareduse, minimeerides kulumist kõrgel temperatuuril töötlemisel.
4. Kõrge puhtusastmega SiC kate:Meie substraat tagab tundlikes pooljuhtprotsessides minimaalse saastumise, pakkudes töökindlust tööstustele, mis nõuavad ranget materjalipuhtust.
5. Lai tururakendus:TheSiC-kattega grafiidisusseptorturg kasvab jätkuvalt, kuna nõudlus täiustatud ränikarbiidiga kaetud toodete järele pooljuhtide tootmises kasvab, mis muudab selle substraadi võtmetegijaks nii grafiitplaatide kandjate kui ka ränikarbiidiga kaetud grafiitplaatide turul.
Alusgrafiitmaterjali tüüpilised omadused:
Näiv tihedus: | 1,85 g/cm3 |
Elektriline takistus: | 11 μΩm |
Paindetugevus: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Shore'i kõvadus: | 58 |
Tuhk: | <5 ppm |
Soojusjuhtivus: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine | |
性质 / Kinnisvara | 典型数值 / Tüüpiline väärtus |
晶体结构 / Kristallstruktuur | FCC β faas 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Tihedus | 3,21 g/cm³ |
硬度 / kõvadus | 2500 维氏硬度 (500 g koorem) |
晶粒大小 / Grain Size | 2-10 μm |
纯度 / Keemiline puhtus | 99,99995% |
热容 / Soojusvõimsus | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
导热系数 / Soojusjuhtivus | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy on erinevate kattekihtidega kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, tõeline tootja, kes suudab tarnida erinevaid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstuste jaoks.
Meie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest teadusasutustest ja suudab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.
Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda täiustatud materjale, ja oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis võib muuta katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem eraldumisohtlikuks.
Tere tulemast meie tehast külastama, arutame edasi!