PECVD laadimisalus, ladestamise grafiidisalv

PECVD laadimisalus Sadestamine Grafiitsalv Esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

VET Energy PECVD laadimisalus on loodud pakkuma vahvlitele sadestamise ajal kindlat ja ühtlast tuge, parandades sadestamisprotsessi järjepidevust ja kvaliteeti. Suurepärase kuumakindlusega aitab grafiidisalv säilitada kontrollitud keskkonda PECVD kambrites, vähendades saastumise ohtu ja tagades protsessi kõrge efektiivsuse.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy PECVD laadimisalus on täppiskandur, mis on ette nähtud PECVD (plasma tugevdatud keemilise aurustamise-sadestamise) protsessi jaoks. See kvaliteetne grafiidist sadestusalus on valmistatud kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiitmaterjalist. Sellel on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused. See võib pakkuda PECVD-protsessile stabiilse kandeplatvormi ja tagada kile sadestamise ühtsuse ja tasasuse.

VET Energy PECVD laadimisaluseid kasutatakse laialdaselt pooljuhtide, fotogalvaaniliste, LED-ide ja muudes valdkondades. Näiteks:

▪ Pooljuht: PECVD protsess pooljuhtmaterjalide jaoks, nagu räniplaadid ja epitaksiaalplaadid.

▪ Fotogalvaaniline: PECVD protsess päikesepatareide õhukeste kilede jaoks.

▪ LED: PECVD protsess LED-kiipide jaoks.

Toote eelised

▪Parandage filmi kvaliteeti:Tagada ühtlane kile sadestumine ja parandada kile kvaliteeti.

▪Seadme eluea pikendamine:Suurepärane korrosioonikindlus, pikendab PECVD seadmete kasutusiga.

▪Tootmiskulude vähendamine:Kvaliteetsed grafiidialused võivad vähendada praagi määra ja tootmiskulusid.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Testi standard	Väärtus	Üksus
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Puistetihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise pooride suurusega	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Elektriline eritakistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suuremõõtmeliste vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat saagikust ja madalamaid tootmiskulusid.

Üksus	Tüüp	Numbrivahvli kandja
PEVCD Grephite paat – 156. seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiitpaat	308
PEVCD Grephite paat – seeria 125	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grfiit paat	280