Grafiit-substraadi vahvlihoidik PECVD jaoks

Grafiitpõhimiku vahvlihoidik PECVD esiletõstetud pildi jaoks

Lühikirjeldus:

VET Energy grafiidist substraadihoidik on konstrueeritud nii, et see säilitaks vahvlite joonduse ja stabiilsuse kogu PECVD protsessi vältel, vältides saastumist ja minimeerides kahjustuste riski. Grafiitplaadihoidja tagab turvalise ja ühtlase platvormi, tagades, et vahvlid on plasmaga ühtlaselt kokku puutunud, et tagada järjepidev ja kvaliteetne sadestus. Kõrge soojusjuhtivuse ja erakordse tugevusega hoidik aitab parandada üldist protsessi tõhusust ja toote jõudlust.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder on täppiskandja, mis on loodud PECVD (plasma täiustatud keemilise aurustamise-sadestamise) protsessi jaoks. See kvaliteetne grafiidist substraadihoidik on valmistatud kõrge puhtusastmega, suure tihedusega grafiitmaterjalist, millel on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused. See võib pakkuda PECVD-protsessile stabiilset tugiplatvormi ja tagada kile sadestamise ühtsuse ja tasasuse.

VET Energy PECVD protsessi grafiitplaatide tugitabelil on järgmised omadused:

▪Kõrge puhtusastmega:äärmiselt madal lisandite sisaldus, vältige kile saastumist, tagage kile kvaliteet.

▪Kõrge tihedus:kõrge tihedus, kõrge mehaaniline tugevus, talub kõrget temperatuuri ja kõrget rõhku PECVD keskkonda.

▪Hea mõõtmete stabiilsus:väike mõõtmete muutus kõrgel temperatuuril, tagades protsessi stabiilsuse.

▪Suurepärane soojusjuhtivus:edastavad tõhusalt soojust, et vältida vahvlite ülekuumenemist.

▪Tugev korrosioonikindlus:talub erinevate söövitavate gaaside ja plasma erosiooni.

▪Kohandatud teenus:erineva suuruse ja kujuga grafiidist tugilaudu saab kohandada vastavalt kliendi vajadustele.

Toote eelised

▪Parandage filmi kvaliteeti:Tagada ühtlane kile sadestumine ja parandada kile kvaliteeti.

▪Seadme eluea pikendamine:Suurepärane korrosioonikindlus, pikendab PECVD seadmete kasutusiga.

▪Tootmiskulude vähendamine:Kvaliteetsed grafiidialused võivad vähendada praagi määra ja tootmiskulusid.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Testi standard	Väärtus	Üksus
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Puistetihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise pooride suurusega	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Elektriline eritakistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suuremõõtmeliste vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat saagikust ja madalamaid tootmiskulusid.

Üksus	Tüüp	Numbrivahvli kandja
PEVCD Grephite paat – 156. seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiitpaat	308
PEVCD Grephite paat – seeria 125	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grfiit paat	280