PECVD grafiitplaatide tugi

PECVD grafiitvahvli toe esiletõstetud pilt

Lühikirjeldus:

Täpsuse ja jõudluse jaoks loodud VET Energy Graphite Wafer Support on ideaalne materjal täiustatud vahvlite töötlemiseks, kus kõrge termiline stabiilsus ja ühtlane jõudlus on kriitilise tähtsusega. Olenemata sellest, kas töötate pooljuhtvahvlite või muude õrnade substraatidega, suurendab see kvaliteetne grafiiditugi teie protsesside usaldusväärsust ja toote kvaliteeti, muutes selle kaasaegses tootmises asendamatuks komponendiks.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy PECVD protsessi grafiitvahvli tugi on südamiku kulumaterjal, mis on loodud PECVD (plasma tugevdatud keemilise aurustamise-sadestamise) protsessi jaoks. See toode on valmistatud kõrge puhtusastmega, suure tihedusega grafiitmaterjalist, millel on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused, mis võib pakkuda PECVD-protsessile stabiilset tugiplatvormi, et tagada kile sadestumise ühtlus ja tasasus.

VET Energy grafiitvahvli toe "grafiittoe" disain ei saa mitte ainult vahvlit tõhusalt toetada, vaid tagab protsessi stabiilsuse tagamiseks ka termilise stabiilsuse kõrge temperatuuri ja kõrge rõhuga PECVD keskkonnas.

VET Energy PECVD protsessi grafiitplaatide toel on järgmised omadused:

▪Kõrge puhtusastmega:äärmiselt madal lisandite sisaldus, vältige kile saastumist, et tagada kile kvaliteet.

▪Kõrge tihedus:kõrge tihedus, kõrge mehaaniline tugevus, talub kõrget temperatuuri ja kõrget rõhku PECVD keskkonda.

▪Hea mõõtmete stabiilsus:väikesed mõõtmete muutused kõrgel temperatuuril, et tagada protsessi stabiilsus.

▪Suurepärane soojusjuhtivus:edastavad tõhusalt soojust, et vältida vahvlite ülekuumenemist.

▪Tugev korrosioonikindlus:Vastupidav erinevate söövitavate gaaside ja plasma erosioonile.

▪Kohandatud teenus:Erineva suuruse ja kujuga grafiidist tugilaudu saab kohandada vastavalt kliendi vajadustele.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Testi standard	Väärtus	Üksus
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Puistetihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise pooride suurusega	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Elektriline eritakistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suuremõõtmeliste vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat saagikust ja madalamaid tootmiskulusid.

Üksus	Tüüp	Numbrivahvli kandja
PEVCD Grephite paat – 156. seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiitpaat	308
PEVCD Grephite paat – seeria 125	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grfiit paat	280