Grafiidist vahvlipaat sadestamiseks

Lühike kirjeldus:

VET Energy grafiidist vahvelpaat on kvaliteetne kulumaterjal, mis on kohandatud sadestamisprotsesside jaoks pooljuhtide, fotogalvaanika ja muudes tööstusharudes. See toode on valmistatud kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiitmaterjalist ning sellel on suurepärane vastupidavus kõrgele temperatuurile, korrosioonikindlusele, mõõtmete stabiilsusele ja muudele omadustele ning see pakub stabiilset kandeplatvormi sadestamisprotsessi jaoks, et tagada õhukese kile sadestamise ühtlus ja tasasus.

Saada meile e-kiri Laadi alla PDF-failina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy PECVD grafiidist paat on valmistatud kõrge puhtusastmega isostaatilisest grafiidist, mille poorsus on alla 15% ja pinna karedus Ra≤1,6 μm. Suurepärane mõõtmete stabiilsus ja soojusjuhtivus tagavad ühtlase kile sadestumise ja parema elementide efektiivsuse.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Katsestandard	Väärtus	Ühik
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Mahutihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise suurusega poorid	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spetsiifiline elektriline takistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suurte vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat tootlikkust ja madalamaid tootmiskulusid.

Ese	Tüüp	Numbriline kiibikandja
PEVCD Grephite paat - 156 seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiidist paat	308
PEVCD Grephite paat - 125. seeria	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grafiidist paat	280