Nagu ülal näidatud, on tüüpiline
Esimene poolaeg:
Kütteelement (küttespiraal) : asub ahju toru ümber, tavaliselt valmistatud takistusjuhtmetest, mida kasutatakse ahju toru sisemuse soojendamiseks.
Kvartstoru: Kuuma oksüdatsiooniahju südamik, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega kvartsist, mis talub kõrgeid temperatuure ja jääb keemiliselt inertseks.
Gaasi etteanne: asub ahju toru ülaosas või küljel ja seda kasutatakse hapniku või muude gaaside transportimiseks ahju toru sisemusse.
SS Flange: komponendid, mis ühendavad kvartstorusid ja gaasitorusid, tagades ühenduse tiheduse ja stabiilsuse.
Gaasi etteandeliinid: torud, mis ühendavad MFC gaasi edastamiseks gaasivarustuspordiga.
MFC (Mass Flow Controller) : seade, mis juhib gaasi voolu kvartstoru sees, et täpselt reguleerida vajaliku gaasi kogust.
Ventilatsioon: kasutatakse heitgaaside väljalaskmiseks ahju toru seest seadme välisküljele.
Alumine osa
Räniplaadid hoidikus: Räniplaadid on paigutatud spetsiaalsesse hoidikusse, et tagada ühtlane kuumus oksüdatsiooni ajal.
Vahvlihoidja: kasutatakse ränivahvli hoidmiseks ja selle tagamiseks, et räniplaat jääks protsessi ajal stabiilseks.
Pjedestaal: struktuur, mis hoiab ränivahvlihoidjat, mis on tavaliselt valmistatud kõrge temperatuurikindlast materjalist.
Lift: kasutatakse vahvlihoidikute tõstmiseks kvartstorudesse ja sealt välja räniplaatide automaatseks laadimiseks ja mahalaadimiseks.
Vahvlite ülekanderobot: asub ahjutoru seadme küljel ja seda kasutatakse ränivahvli automaatseks eemaldamiseks karbist ja ahju torusse asetamiseks või eemaldamiseks pärast töötlemist.
Kassettide hoiukarussell: kassettide hoiukarusselli kasutatakse ränivahvleid sisaldava kasti hoidmiseks ja seda saab roboti juurdepääsuks pöörata.
Vahvlikassett: vahvlikassetti kasutatakse töödeldavate ränivahvlite hoidmiseks ja teisaldamiseks.
Postitusaeg: 22. aprill 2024