Nagu ülal näidatud, on tüüpiline
Esimene poolaeg:
▪ Kütteelement (küttespiraal):
asub ahju toru ümber, tavaliselt valmistatud takistusjuhtmetest, mida kasutatakse ahju toru sisemuse soojendamiseks.
▪ Kvartstoru:
Kuuma oksüdatsiooniahju südamik, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega kvartsist, mis talub kõrgeid temperatuure ja jääb keemiliselt inertseks.
▪ Gaasi etteanne:
Asub ahju toru ülemises või küljes ja seda kasutatakse hapniku või muude gaaside transportimiseks ahju toru sisemusse.
▪ SS-äärik:
komponendid, mis ühendavad kvartstorusid ja gaasitorusid, tagades ühenduse tiheduse ja stabiilsuse.
▪ Gaasi toitetorud:
Torud, mis ühendavad MFC-d gaasi edastamiseks gaasivarustuspordiga.
▪ MFC (massivoolu kontroller):
Seade, mis juhib gaasi voolu kvartstoru sees, et täpselt reguleerida vajaliku gaasi kogust.
▪ Ventilatsioon:
Kasutatakse heitgaaside väljajuhtimiseks ahju toru seest seadme välisküljele.
Alumine osa:
▪ Silikoonplaadid hoidikus:
Räniplaadid on paigutatud spetsiaalsesse hoidikusse, et tagada ühtlane kuumus oksüdatsiooni ajal.
▪ Vahvlihoidja:
Kasutatakse ränivahvli hoidmiseks ja selle tagamiseks, et räniplaat püsiks protsessi ajal stabiilne.
▪ Pjedestaal:
Struktuur, mis hoiab silikoonplaadi hoidjat, mis on tavaliselt valmistatud kõrget temperatuuri taluvast materjalist.
▪ Lift:
Kasutatakse vahvlihoidikute tõstmiseks kvartstorudesse ja sealt välja räniplaatide automaatseks laadimiseks ja mahalaadimiseks.
▪ Vahvlite ülekanderobot:
asub ahju toru seadme küljel, seda kasutatakse ränivahvli automaatseks eemaldamiseks karbist ja asetamiseks ahju torusse või eemaldamiseks pärast töötlemist.
▪ Kassettide hoiustamiskarussell:
Kassettide hoiukarusselli kasutatakse ränivahvleid sisaldava kasti hoidmiseks ja seda saab roboti juurdepääsuks pöörata.
▪ Vahvlikassett:
vahvlikassetti kasutatakse töödeldavate räniplaatide ladustamiseks ja teisaldamiseks.
Postitusaeg: 22. aprill 2024