Ränikarbiid (SiC) on uus liitpooljuhtmaterjal. Ränikarbiidil on suur ribavahe (umbes 3 korda räni), kõrge kriitiline väljatugevus (umbes 10 korda räni), kõrge soojusjuhtivus (umbes 3 korda räni). See on oluline järgmise põlvkonna pooljuhtmaterjal. SiC katteid kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tööstuses ja päikeseenergia fotogalvaanikas. Eelkõige nõuavad SiC-katte kasutamist LED-ide epitaksiaalses kasvus ja Si monokristallide epitaksis kasutatavad sustseptorid. Tulenevalt valgusdioodide tugevast tõusutrendist valgustus- ja kuvaritööstuses ning pooljuhtide tööstuse jõulisest arengust,SiC katte toodeväljavaated on väga head.
RAKENDUSVÄLJA
Puhtus, SEM struktuur, paksuse analüüsSiC kate
Grafiidil olevate SiC-katete puhtus CVD-ga on koguni 99,9995%. Selle struktuur on fcc. Grafiidiga kaetud SiC kiled on (111) orienteeritud, nagu on näidatud XRD andmetel (joonis 1), mis näitab selle kõrget kristallilist kvaliteeti. SiC kile paksus on väga ühtlane, nagu on näidatud joonisel 2.
Joonis 2: grafiidil beeta-SiC kile ühtlane paksus SEM ja XRD
CVD SiC õhukese kile SEM-andmed, kristalli suurus on 2 ~ 1 Opm
CVD SiC kile kristallstruktuur on näokeskne kuubistruktuur ja kile kasvuorientatsioon on peaaegu 100%
Ränikarbiidiga (SiC) kaetudalus on parim alus ühekristallilise räni ja GaN-epitaksi jaoks, mis on epitaksiahju põhikomponent. Alus on suurte integraallülituste jaoks mõeldud monokristallilise räni peamine tootmistarvik. Sellel on kõrge puhtusaste, kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, hea õhutihedus ja muud suurepärased materjaliomadused.
Toote kasutamine ja kasutamine
Grafiidist aluskate monokristalli räni epitaksiaalseks kasvuksSobib Aixtroni masinatele jne. Katte paksus: 90 ~ 150 um Vahvlikraatri läbimõõt on 55 mm.
Postitusaeg: 14. märts 2022