VET EnergyPECVD-protsessi grafiidikandja on kvaliteetne kulumaterjal, mis on kohandatud PECVD (plasma tugevdatud keemilise aurustamise-sadestamise) protsessi jaoks. See grafiitkandur on valmistatud kõrge puhtusastmega, suure tihedusega grafiitmaterjalist, millel on suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused, mis võib pakkuda PECVD-protsessile stabiilse kandeplatvormi, et tagada õhukese kile ühtlus ja tasasus. ladestumine.
PECVD protsessi grafiidikanduritel on järgmised omadused:
▪ Kõrge puhtusaste: äärmiselt madal lisandite sisaldus, väldib kile saastumist ja tagab kile kvaliteedi.
▪ Suur tihedus: suur tihedus, kõrge mehaaniline tugevus, talub kõrget temperatuuri ja kõrget rõhku PECVD keskkonnas.
▪ Hea mõõtmete stabiilsus: väike mõõtmete muutus kõrgel temperatuuril, tagades protsessi stabiilsuse.
▪ Suurepärane soojusjuhtivus: edastab tõhusalt soojust, et vältida vahvli ülekuumenemist.
▪ Tugev korrosioonikindlus: talub erinevate söövitavate gaaside ja plasma erosiooni.
▪ Kohandatud teenus: erineva suuruse ja kujuga grafiidikandjaid saab kohandada vastavalt kliendi vajadustele.
SGL-i grafiitmaterjal:
Tüüpiline parameeter: R6510 | |||
Indeks | Testi standard | Väärtus | Üksus |
Keskmine tera suurus | ISO 13320 | 10 | μm |
Puistetihedus | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Avatud poorsus | DIN66133 | 10 | % |
Keskmise pooride suurusega | DIN66133 | 1.8 | μm |
Läbilaskvus | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwelli kõvadus HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Elektriline eritakistus | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Paindetugevus | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Survetugevus | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngi moodul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Soojuspaisumine (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
Soojusjuhtivus (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suuremõõtmeliste vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat saagikust ja madalamaid tootmiskulusid.
Üksus | Tüüp | Numbrivahvli kandja |
PEVCD Grephite paat – 156. seeria | 156-13 grefiitpaat | 144 |
156-19 grefiitpaat | 216 | |
156-21 grefiitpaat | 240 | |
156-23 grafiitpaat | 308 | |
PEVCD Grephite paat – seeria 125 | 125-15 grefiitpaat | 196 |
125-19 grefiitpaat | 252 | |
125-21 grfiit paat | 280 |