Como se muestra arriba, es un típico
La primera mitad:
Elemento calefactor (serpentín calefactor): ubicado alrededor del tubo del horno, generalmente hecho de cables de resistencia, que se utiliza para calentar el interior del tubo del horno.
Tubo de Cuarzo: El núcleo de un horno de oxidación en caliente, hecho de cuarzo de alta pureza que puede soportar altas temperaturas y permanecer químicamente inerte.
Alimentación de gas: ubicada en la parte superior o lateral del tubo del horno, se utiliza para transportar oxígeno u otros gases al interior del tubo del horno.
Brida SS: componentes que conectan tubos de cuarzo y líneas de gas, asegurando la estanqueidad y estabilidad de la conexión.
Líneas de alimentación de gas: Tuberías que conectan el MFC al puerto de suministro de gas para la transmisión de gas.
MFC (Controlador de flujo de masa): dispositivo que controla el flujo de gas dentro de un tubo de cuarzo para regular con precisión la cantidad de gas requerida.
Ventilación: Se utiliza para ventilar los gases de escape desde el interior del tubo del horno hacia el exterior del equipo.
Parte inferior
Obleas de silicio en soporte: Las obleas de silicona están alojadas en un soporte especial para garantizar un calor uniforme durante la oxidación.
Soporte para oblea: Se utiliza para sostener la oblea de silicio y garantizar que la oblea de silicio permanezca estable durante el proceso.
Pedestal: Estructura que sostiene un soporte de oblea de silicona, generalmente fabricado con un material resistente a altas temperaturas.
Elevador: Se utiliza para elevar y sacar los soportes de obleas de los tubos de cuarzo para la carga y descarga automática de obleas de silicio.
Robot de transferencia de obleas: ubicado en el costado del dispositivo del tubo del horno, se utiliza para retirar automáticamente la oblea de silicio de la caja y colocarla en el tubo del horno, o retirarla después del procesamiento.
Carrusel de almacenamiento de casetes: el carrusel de almacenamiento de casetes se utiliza para almacenar una caja que contiene obleas de silicio y se puede girar para facilitar el acceso del robot.
Cassette de oblea: el casete de oblea se utiliza para almacenar y transferir las obleas de silicio que se van a procesar.
Hora de publicación: 22 de abril de 2024