Como se muestra arriba, es un típico
La primera mitad:
▪ Elemento calefactor (serpentín calefactor):
Ubicado alrededor del tubo del horno, generalmente hecho de cables de resistencia, que se utiliza para calentar el interior del tubo del horno.
▪ Tubo de Cuarzo:
El núcleo de un horno de oxidación en caliente, fabricado con cuarzo de alta pureza que puede soportar altas temperaturas y permanecer químicamente inerte.
▪ Alimentación de Gas:
Ubicado en la parte superior o lateral del tubo del horno, se utiliza para transportar oxígeno u otros gases al interior del tubo del horno.
▪ Brida SS:
Componentes que conectan tubos de cuarzo y líneas de gas, asegurando la estanqueidad y estabilidad de la conexión.
▪ Líneas de Alimentación de Gas:
Tuberías que conectan el MFC al puerto de suministro de gas para la transmisión de gas.
▪ MFC (Controlador de flujo másico):
Dispositivo que controla el flujo de gas dentro de un tubo de cuarzo para regular con precisión la cantidad de gas requerida.
▪ Ventilación:
Se utiliza para ventilar los gases de escape desde el interior del tubo del horno hacia el exterior del equipo.
Parte inferior:
▪ Obleas de Silicio en Soporte:
Las obleas de silicio están alojadas en un soporte especial para garantizar un calor uniforme durante la oxidación.
▪ Portaobleas:
Se utiliza para sujetar la oblea de silicio y garantizar que la oblea de silicio permanezca estable durante el proceso.
▪ Pedestal:
Estructura que sostiene un soporte de oblea de silicio, generalmente hecho de un material resistente a altas temperaturas.
▪ Ascensor:
Se utiliza para levantar y sacar soportes de obleas de tubos de cuarzo para la carga y descarga automática de obleas de silicio.
▪ Robot de transferencia de obleas:
Ubicado en el costado del dispositivo del tubo del horno, se utiliza para retirar automáticamente la oblea de silicio de la caja y colocarla en el tubo del horno, o retirarla después del procesamiento.
▪ Carrusel de almacenamiento de casetes:
El carrusel de almacenamiento de casetes se utiliza para almacenar una caja que contiene obleas de silicio y se puede girar para facilitar el acceso del robot.
▪ Casete de oblea:
El casete de oblea se utiliza para almacenar y transferir las obleas de silicio que se van a procesar.
Hora de publicación: 22 de abril de 2024