Las principales funciones debarco de carburo de silicioEl soporte y el soporte para barco de cuarzo son iguales.Barco de carburo de silicioEl soporte tiene un rendimiento excelente pero un precio elevado. Constituye una relación alternativa con el soporte de embarcaciones de cuarzo en equipos de procesamiento de baterías con duras condiciones de trabajo (como equipos LPCVD y equipos de difusión de boro). En los equipos de procesamiento de baterías con condiciones de trabajo normales, debido a las relaciones de precios, el carburo de silicio y el soporte para embarcaciones de cuarzo se convierten en categorías coexistentes y competitivas.
① Relación de sustitución en LPCVD y equipos de difusión de boro
El equipo LPCVD se utiliza para la oxidación de túneles de celdas de baterías y el proceso de preparación de capas de polisilicio dopado. Principio de funcionamiento:
Bajo una atmósfera de baja presión, combinada con una temperatura adecuada, se logra la reacción química y la formación de una película de deposición para preparar una capa de óxido de túnel ultrafina y una película de polisilicio. En el proceso de oxidación de túneles y preparación de la capa de polisilicio dopado, el soporte de la embarcación tiene una temperatura de trabajo alta y se depositará una película de silicio en la superficie. El coeficiente de expansión térmica del cuarzo es bastante diferente al del silicio. Cuando se utiliza en el proceso anterior, es necesario decapar y eliminar periódicamente el silicio depositado en la superficie para evitar que el soporte del barco de cuarzo se rompa debido a la expansión y contracción térmica debido al diferente coeficiente de expansión térmica del silicio. Debido al decapado frecuente y la baja resistencia a altas temperaturas, el soporte de cuarzo para botes tiene una vida corta y se reemplaza con frecuencia en el proceso de oxidación en túnel y preparación de la capa de polisilicio dopado, lo que aumenta significativamente el costo de producción de la celda de la batería. El coeficiente de expansión decarburo de silicioes similar al del silicio. el integradobarco de carburo de silicioEl soporte no requiere decapado en el proceso de oxidación en túnel y preparación de la capa de polisilicio dopado. Tiene alta resistencia a altas temperaturas y una larga vida útil. Es una buena alternativa al soporte para barcos de cuarzo.
El equipo de expansión de boro se utiliza principalmente para el proceso de dopar elementos de boro en el sustrato de oblea de silicio tipo N de la celda de la batería para preparar el emisor tipo P para formar una unión PN. El principio de funcionamiento es realizar reacciones químicas y formación de películas de deposición molecular en una atmósfera de alta temperatura. Una vez formada la película, se puede difundir mediante calentamiento a alta temperatura para realizar la función dopante de la superficie de la oblea de silicio. Debido a la alta temperatura de trabajo del equipo de expansión de boro, el soporte para botes de cuarzo tiene una resistencia baja a altas temperaturas y una vida útil corta en el equipo de expansión de boro. el integradobarco de carburo de silicioEl soporte tiene una alta resistencia a altas temperaturas y es una buena alternativa al soporte para botes de cuarzo en el proceso de expansión de boro.
② Relación de sustitución en otros equipos de proceso
Los soportes para embarcaciones de SiC tienen una capacidad de producción ajustada y un rendimiento excelente. Su precio es generalmente más alto que el de los soportes para embarcaciones de cuarzo. En las condiciones generales de trabajo de los equipos de procesamiento de células, la diferencia en la vida útil entre los soportes para embarcaciones de SiC y los soportes para embarcaciones de cuarzo es pequeña. Los clientes intermedios comparan y eligen principalmente entre precio y rendimiento en función de sus propios procesos y necesidades. Los soportes para barcos de SiC y los soportes para barcos de cuarzo se han vuelto coexistentes y competitivos. Sin embargo, el margen de beneficio bruto de los soportes para embarcaciones de SiC es relativamente alto en la actualidad. Con la disminución del costo de producción de los soportes para embarcaciones de SiC, si el precio de venta de los soportes para embarcaciones de SiC disminuye activamente, también supondrá una mayor competitividad para los soportes para embarcaciones de cuarzo.
Relación de uso
La ruta de la tecnología celular es principalmente la tecnología PERC y la tecnología TOPCon. La cuota de mercado de la tecnología PERC es del 88% y la cuota de mercado de la tecnología TOPCon es del 8,3%. La cuota de mercado combinada de los dos es del 96,30%.
Como se muestra en la siguiente figura:
En la tecnología PERC, se requieren soportes de embarcaciones para los procesos de recocido y difusión frontal de fósforo. En la tecnología TOPCon, se requieren soportes de embarcaciones para los procesos de difusión frontal de boro, LPCVD, difusión trasera de fósforo y recocido. En la actualidad, los soportes para embarcaciones de carburo de silicio se utilizan principalmente en el proceso LPCVD de la tecnología TOPCon, y se ha verificado principalmente su aplicación en el proceso de difusión de boro.
Figura Aplicación de soportes para embarcaciones en el proceso de procesamiento celular.
Nota: Después del recubrimiento frontal y posterior de las tecnologías PERC y TOPCon, todavía existen vínculos como la serigrafía, la sinterización y las pruebas y clasificación, que no implican el uso de soportes para embarcaciones y no se enumeran en la figura anterior.
Hora de publicación: 15 de octubre de 2024