Karakterizaĵoj:
· Bonega Termika Ŝoko Rezisto
· Bonega Fizika Ŝoka Rezisto
· Bonega Kemia Rezisto
· Super Alta Pureco
· Havebleco en Kompleksa Formo
·Uzebla sub Oksidanta Atmosfero
Apliko:
Produktaj Trajtoj kaj Avantaĝoj:
1. Supera Termika Rezisto:Kun alta purecoSiC tegaĵo, la substrato eltenas ekstremajn temperaturojn, certigante konsekvencan agadon en postulemaj medioj kiel ekzemple epitaksio kaj semikonduktaĵfabrikado.
2. Plifortigita Fortikeco:La SiC tegitaj grafitkomponentoj estas dizajnitaj por rezisti kemian korodon kaj oksigenadon, pliigante la vivdaŭron de la substrato kompare kun normaj grafitsubstratoj.
3. Vitra Tegita Grafito:La unika vitreca strukturo de laSiC tegaĵoprovizas bonegan surfacan malmolecon, minimumigante eluziĝon dum alt-temperatura pretigo.
4. Alta Pureco SiC Tegaĵo:Nia substrato certigas minimuman poluadon en sentemaj duonkonduktaj procezoj, proponante fidindecon por industrioj, kiuj postulas striktan materialan purecon.
5. Larĝa Merkata Apliko:LaSiC kovrita grafito susceptormerkato daŭre kreskas dum la postulo je altnivelaj tegitaj produktoj de SiC en fabrikado de semikonduktaĵoj pliiĝas, poziciigante ĉi tiun substraton kiel ŝlosilan ludanton en ambaŭ la merkato de grafitaj oblatoj kaj la merkato de grafitaj pletoj de silicikarbido.
Tipaj Propraĵoj de Baza Grafita Materialo:
Ŝajna Denso: | 1,85 g/cm3 |
Elektra rezisteco: | 11 μΩm |
Fleksa Forto: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
Marborda Malmoleco: | 58 |
Cindro: | <5ppm |
Termika Kondukto: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
CVD SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo | |
性质 / Proprieto | 典型数值 / Tipa Valoro |
晶体结构 / Kristala Strukturo | FCC β-fazo 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Denso | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Malmoleco | 2500 维氏硬度(500g ŝarĝo) |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
纯度 / Kemia Pureco | 99,99995 % |
热容 / Varmokapacito | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimation Temperature | 2700℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkto |
杨氏模量 / Modulo de Young | 430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃ |
导热系数 / Termika Kondukto | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy estas la vera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun malsamaj tegaĵoj kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbona tegaĵo, piroliza karbona tegaĵo, ktp., povas provizi diversajn personecigitajn partojn por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esploraj institucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.
Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.
Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni plu diskutos!