SiC Tegaĵo/Tegita Grafito Substrato/Pleto por Semikonduktaĵo

Mallonga Priskribo:

VET Energy SiC Tegita Graphite Susceptor por Epitaxial Growth estas alt-efikeca produkto desegnita por provizi konsekvencan kaj fidindan agadon dum plilongigita periodo. Ĝi havas super bonan varmegan reziston kaj termikan unuformecon, altan purecon, erozioreziston, igante ĝin la perfekta solvo por oblataj pretigaj aplikoj.


Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

SiC tegaĵo/tegita de Grafito-susceptor por Semikonduktaĵo
 
LaSiC Tegita Grafita Substratoestas tre daŭrema kaj efika solvo desegnita por plenumi la rigorajn postulojn de la semikonduktaĵa pretiga industrio. Havante tavolon de alta purecotegaĵo de silicikarbido (SiC)., ĉi tiu substrato liveras esceptan termikan stabilecon, oksidiĝan reziston kaj longedaŭran funkcidaŭron, igante ĝin ideala por aplikoj en MOCVD-procezoj, grafitaj oblataj portantoj kaj aliaj alt-temperaturaj medioj.

 Karakterizaĵoj: 
· Bonega Termika Ŝoko Rezisto
· Bonega Fizika Ŝoka Rezisto
· Bonega Kemia Rezisto
· Super Alta Pureco
· Havebleco en Kompleksa Formo
·Uzebla sub Oksidanta Atmosfero

Apliko:

3

Produktaj Trajtoj kaj Avantaĝoj:

1. Supera Termika Rezisto:Kun alta purecoSiC tegaĵo, la substrato eltenas ekstremajn temperaturojn, certigante konsekvencan agadon en postulemaj medioj kiel ekzemple epitaksio kaj semikonduktaĵfabrikado.

2. Plifortigita Fortikeco:La SiC tegitaj grafitkomponentoj estas dizajnitaj por rezisti kemian korodon kaj oksigenadon, pliigante la vivdaŭron de la substrato kompare kun normaj grafitsubstratoj.

3. Vitra Tegita Grafito:La unika vitreca strukturo de laSiC tegaĵoprovizas bonegan surfacan malmolecon, minimumigante eluziĝon dum alt-temperatura pretigo.

4. Alta Pureco SiC Tegaĵo:Nia substrato certigas minimuman poluadon en sentemaj duonkonduktaj procezoj, proponante fidindecon por industrioj, kiuj postulas striktan materialan purecon.

5. Larĝa Merkata Apliko:LaSiC kovrita grafito susceptormerkato daŭre kreskas dum la postulo je altnivelaj tegitaj produktoj de SiC en fabrikado de semikonduktaĵoj pliiĝas, poziciigante ĉi tiun substraton kiel ŝlosilan ludanton en ambaŭ la merkato de grafitaj oblatoj kaj la merkato de grafitaj pletoj de silicikarbido.

Tipaj Propraĵoj de Baza Grafita Materialo:

Ŝajna Denso: 1,85 g/cm3
Elektra rezisteco: 11 μΩm
Fleksa Forto: 49 MPa (500kgf/cm2)
Marborda Malmoleco: 58
Cindro: <5ppm
Termika Kondukto: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo

性质 / Proprieto

典型数值 / Tipa Valoro

晶体结构 / Kristala Strukturo

FCC β-fazo 多晶,主要为(111)取向

密度 / Denso

3,21 g/cm³

硬度 / Malmoleco

2500 维氏硬度(500g ŝarĝo)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Kemia Pureco

99,99995 %

热容 / Varmokapacito

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkto

杨氏模量 / Modulo de Young

430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃

导热系数 / Termika Kondukto

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy estas la vera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun malsamaj tegaĵoj kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbona tegaĵo, piroliza karbona tegaĵo, ktp., povas provizi diversajn personecigitajn partojn por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio.

Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esploraj institucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni plu diskutos!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Antaŭa:
  • Sekva:

  • Enreta Babilejo de WhatsApp!