SiC kovrita grafito-susceptor estas ŝlosila komponento uzita en diversaj semikonduktaĵaj produktadprocezoj. ni uzas nian patentitan teknologion por fari la susceptoron kun ekstreme alta pureco, bona tegaĵo-unuformeco kaj bonega servodaŭro, same kiel alta kemia rezisto kaj termika stabileco propraĵoj.
Karakterizaĵoj de niaj produktoj:
1. Alta temperatura oksida rezisto ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kaj termika unuformeco
3. Bonega koroda rezisto: acida, alkala, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa serva vivo kaj pli daŭra
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo | |
| 性质 / Proprieto | 典型数值 / Tipa Valoro |
| 晶体结构 / Kristala Strukturo | FCC β-fazo多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Denso | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Malmoleco | 2500 维氏硬度（500g ŝarĝo） |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2~10μm |
| 纯度 / Kemia Pureco | 99,99995 % |
| 热容 / Varmo Kapacito | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimiga Temperaturo | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Fleksa Forto | 415 MPa RT 4-punkto |
| 杨氏模量 / Modulo de Young | 430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalKondukto | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy estas la vera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun malsamaj tegaĵoj kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbona tegaĵo, piroliza karbona tegaĵo, ktp., povas provizi diversajn personecigitajn partojn por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esploraj institucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.
Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.
Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni plu diskutos!
