SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

SiC Tegaĵo Grafito MOCVD Wafer Carriers Susceptors Prezentita Bildo

Mallonga Priskribo:

VET Energy SiC Tegita MOCVD Susceptor por Epitaxial Growth estas alt-efikeca produkto desegnita por provizi konsekvencan kaj fidindan agadon dum plilongigita periodo. Ĝi havas super bonan varmegan reziston kaj termikan unuformecon, altan purecon, erozioreziston, igante ĝin la perfekta solvo por oblataj pretigaj aplikoj.

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

SiC tegaĵo grafito MOCVD Oblato portantoj/susceptor

Ĉiuj niaj susceptoroj estas faritaj el alta fortika izostatika grafito. Profitu de la alta pureco de niaj grafitoj - evoluigitaj speciale por malfacilaj procezoj kiel epitaksio, kristala kreskado, jon-enplantado kaj plasma akvaforto, same kiel por la produktado de LED-blatoj.

Karakterizaĵoj de niaj produktoj:

1. Alta temperatura oksida rezisto ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kaj termika unuformeco
3. Bonega koroda rezisto: acida, alkala, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa serva vivo kaj pli daŭra

CVD SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo
性质 / Proprieto	典型数值 / Tipa Valoro
晶体结构 / Kristala Strukturo	FCC β-fazo多晶，主要为（111）取向
密度 / Denso	3,21 g/cm³
硬度 / Malmoleco	2500 维氏硬度（500g ŝarĝo）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Kemia Pureco	99,99995 %
热容 / Varmo Kapacito	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimiga Temperaturo	2700℃
抗弯强度 / Fleksa Forto	415 MPa RT 4-punkto
杨氏模量 / Modulo de Young	430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃
导热系数 / ThermalKondukto	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy estas la vera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun malsamaj tegaĵoj kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbona tegaĵo, piroliza karbona tegaĵo, ktp., povas provizi diversajn personecigitajn partojn por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio.

Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esploraj institucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni plu diskutos!