PECVD Ŝarĝanta Pleton Deponejo Grafita Pleto

PECVD Ŝarĝanta Pleto Deponejo Grafita Pleto Elstara Bildo

Mallonga Priskribo:

La PECVD-Pleto de Ŝarĝo de VET Energy estas desegnita por provizi sekuran kaj eĉ subtenon por oblatoj dum deponado, plibonigante la konsistencon kaj kvaliton de la demetprocezo. Kun sia bonega varmorezisto, la Grafita Pleto helpas konservi kontrolitan medion ene de PECVD-kameroj, reduktante la riskon de poluado kaj certigante altan procezan efikecon.

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

VET Energy PECVD-ŝarĝa pleto estas precizeca portanto desegnita por procezo de PECVD (plasmo-plifortigita kemia vapordemetado). Ĉi tiu altkvalita deponaĵa grafita pleto estas farita el altpura, alt-denseca grafita materialo. Ĝi havas bonegan alttemperaturan reziston, korodan reziston, dimensian stabilecon kaj aliajn karakterizaĵojn. Ĝi povas provizi stabilan portantan platformon por PECVD-procezo kaj certigi la unuformecon kaj platecon de filma deponado.

VET Energy PECVD-ŝarĝaj pletoj estas vaste uzataj en duonkonduktaĵoj, fotovoltaaj, LED kaj aliaj kampoj. Ekzemple:

▪ Semikonduktaĵo: PECVD-procezo por semikonduktaĵoj kiel ekzemple siliciaj oblatoj kaj epitaksiaj oblatoj.

▪ Fotovoltaiko: PECVD-procezo por maldikaj filmoj de sunĉeloj.

▪ LED: PECVD-procezo por LED-blatoj.

Produktaj Avantaĝoj

▪Plibonigu la kvaliton de filmo:Certigu unuforman filman deponadon kaj plibonigu filmkvaliton.

▪Plilongigi ekipaĵvivon:Bonega koroda rezisto, plilongigas la funkcidaŭron de PECVD-ekipaĵo.

▪Redukti produktokostojn:Altkvalitaj grafitaj pletoj povas redukti forĵetaĵon kaj redukti produktokostojn.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grajnograndeco	ISO 13320	10	μm
Granda denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza pora grandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra resistiveco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksa forto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktivo (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca sunĉela fabrikado, subtenante G12-grand-grandan oblatan prilaboradon. Optimumigita portanto-dezajno signife pliigas trairon, ebligante pli altajn rendimentajn indicojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tajpu	Nombra oblaportilo
PEVCD Grephite boato - La 156 serio	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite boato - La 125 serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grphite boato	280