Graphite Substrate Wafer Holder por PECVD

Mallonga Priskribo:

La Graphite Substrate Holder de VET Energy estas kreita por konservi oblatan vicigon kaj stabilecon dum la PECVD-procezo, malhelpante poluadon kaj minimumigante la riskon de damaĝo. La Graphite Wafer Holder disponigas sekuran, egalan platformon, certigante, ke oblatoj estas egale elmontritaj al la plasmo por konsekvenca kaj altkvalita deponaĵo. Kun sia alta varmokondukteco kaj escepta forto, ĉi tiu tenilo helpas plibonigi ĝeneralan procezan efikecon kaj produktan rendimenton.

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder estas precizeca portanto desegnita por procezo de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ĉi tiu altkvalita Graphite Substrate Holding estas farita el altpura, alt-denseca grafita materialo, kun bonega alttemperatura rezisto, koroda rezisto, dimensia stabileco kaj aliaj trajtoj. Ĝi povas provizi stabilan subtenan platformon por PECVD-procezo kaj certigi la unuformecon kaj platecon de filma deponado.

VET Energy PECVD-proceza grafita oblata subtena tablo havas la sekvajn karakterizaĵojn:

▪Alta pureco:ekstreme malalta malpura enhavo, evitu poluadon de filmo, certigu filmo-kvaliton.

▪Alta denseco:alta denseco, alta mekanika forto, povas elteni altan temperaturon kaj altan premon PECVD-medio.

▪Bona dimensia stabileco:malgranda dimensia ŝanĝo ĉe alta temperaturo, certigante procezan stabilecon.

▪Bonega varmokondukteco:efike translokigi varmon por malhelpi oblaton trovarmiĝon.

▪Forta koroda rezisto:povas rezisti erozion de diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

▪Agordita servo:Grafitaj subtenaj tabloj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti personecigitaj laŭ klientbezonoj.

Produktaj Avantaĝoj

▪Plibonigu la kvaliton de filmo:Certigu unuforman filman deponadon kaj plibonigu filmkvaliton.

▪Plilongigi ekipaĵvivon:Bonega koroda rezisto, plilongigas la funkcidaŭron de PECVD-ekipaĵo.

▪Redukti produktokostojn:Altkvalitaj grafitaj pletoj povas redukti forĵetaĵon kaj redukti produktokostojn.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grajnograndeco	ISO 13320	10	μm
Granda denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza pora grandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra resistiveco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksa forto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktivo (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca sunĉela fabrikado, subtenante G12-grand-grandan oblatan prilaboradon. Optimumigita portanto-dezajno signife pliigas trairon, ebligante pli altajn rendimentajn indicojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tajpu	Nombra oblaportilo
PEVCD Grephite boato - La 156 serio	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite boato - La 125 serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grphite boato	280